光學(xué)鍍膜產(chǎn)品及廠家
平臺擁有光刻設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備、刻蝕設(shè)備、表征測試設(shè)備、器件后道封裝設(shè)備以及自主研發(fā)的超滑實(shí)驗(yàn)設(shè)備等共計(jì)200余臺套，其中主要設(shè)備40余臺。基于已有設(shè)備，對外提供工藝整合、共同工藝開發(fā)等技術(shù)服務(wù)。
更新時(shí)間:2025-04-27
如，微/納制造與微/納測量技術(shù)現(xiàn)已廣泛的應(yīng)用于信息業(yè)、工業(yè)制造、生物與醫(yī)療科學(xué)、航空航天及環(huán)境科學(xué)等各個(gè)域，對于軍用和民用各個(gè)域的發(fā)展起著舉足輕重的作用。為此，我們上線微納加工打樣驗(yàn)證服務(wù)，以求幫助客戶快實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品驗(yàn)證。
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工藝整合及平臺能力—導(dǎo)電dlc膜層（超滑副，導(dǎo)電超硬膜層等）—ain／pzt薄膜工藝（壓電驅(qū)動(dòng)材料）—大尺寸高定向碳材料生長和器件加工工藝—鍵合：陽鍵合、玻璃焊料鍵合、共晶鍵合（aige）、擴(kuò)散鍵合工藝—?dú)夥栈蛘婵辗庋b、reseal—研磨減薄和原子拋光工藝—硅基全濕法微納加工工藝—柔性襯底微納器件加工
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