laser mbe具備pld和傳統(tǒng)mbe的特點,對薄膜的生長速率進行(原子層級別)控制。設(shè)備特點是在mbe系統(tǒng)上增加激光燒蝕工藝,系統(tǒng)可以生長包括高熔點陶瓷以及多元素固體材料等各種材料。svt有20年的mbe設(shè)備制造經(jīng)驗,我們擅于通過在線監(jiān)控薄膜生長來提高薄膜質(zhì)量。所采用的在線監(jiān)控儀器包括:溫度測量儀、厚度測量儀、rheed、束流監(jiān)控儀等。如果您想了解更多這方面的信息
更新時間:2025-06-23