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    齊全PlasCalc系列等離子體監(jiān)控器/光纖光譜儀/紅外觀察儀/濾光片/博盛

     
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      | 探測器 

      PlasCalc系列等離子體監(jiān)控器

       

      產品特點

       

      • 1.0nm(半最大值全波)光學解析度
      • 200~1100nm波長范圍
    • 快速建立和保存實驗方法
    • 調制步驟編輯
      調制步驟編輯工具可以使用戶簡單、快速地設置、建立和保存實驗方法。利用該工具可以對多數(shù)復雜的等離子體過程建立簡便而的步驟設置:例如測量薄膜沉積情況、監(jiān)測等離子蝕刻、檢查表面清潔處理、分析等離子室健康控制情況、監(jiān)測反常的污染和排放現(xiàn)象等。
       
      用于簡單的等離子體診斷的多重工具
      PlasCalc型監(jiān)控器配有操作軟件,所提供的完整的公式編輯器可以進行所有需要的數(shù)學和算法功能。我們同時提供一個可選配的放射波長數(shù)據(jù)庫,可以另外單獨購買,它能夠提供種類的鑒定;而波長編輯器則使用戶完成信噪比的優(yōu)化。操作界面包含兩個窗口,可以同時顯示真實的光譜和所有控制過程信息。
       
      產品規(guī)格

       

      光譜范圍
      2001100nm
      光學解析度
      1.0nm(半最大值全波)
      數(shù)字/模擬轉換器
      14 bit
      數(shù)字輸入/輸出
      8 x TTL
      模擬輸出
      4 x [0-10V]
      連接方式
      USB 1.1
      USB 1.1
      電力消耗
      12V直流電,1.25A
      電力需求
      90240V交流電,50/60Hz
      尺寸
      257 mm x 152 mm x 263 mm
      重量
      5 kg

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