便攜式四探針電阻率測試儀 型號:CN61M251813 | |
概述 便攜式電阻測度儀是用來測量硅晶塊、晶片電阻率及擴散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。 本儀器按照半導(dǎo)體材料電阻率的國際及國家標(biāo)準(zhǔn)測試方法有關(guān)規(guī)定設(shè)計。 它主要由電器測量部份(主機)及四探頭組成,需要時可加配測試架。 為減小體積,本儀器用同一塊數(shù)字表測量電流及阻率。樣品測試電流由高精寬的恒流源提供,隨時可進(jìn)行校準(zhǔn),以確保電阻率測量的度。因此本儀器不僅可以用來分先材料也可以用來作產(chǎn)品檢測。對1~100Ω•cm標(biāo)準(zhǔn)樣片的測量瓿差不超過±3%,在此范圍內(nèi)達(dá)到國家標(biāo)準(zhǔn)一級機的水平。 測量范圍: 可測量 電阻率:0.01~199.9Ω•cm。 可測方塊電阻:0.1~1999Ω/口 當(dāng)被測材料電阻率≥200Ω•cm數(shù)字表顯示0.00。 (2)恒流源: 輸出電流:DC 0.1mA~10mA分兩檔 10mA量程:0.1~1mA 連續(xù)可調(diào) 10mA量程:1mA ~10mA連續(xù)可調(diào) 恒流精度:各檔均優(yōu)于±0.1% 適合測量各種厚度的硅片 (3) 直流數(shù)字電壓表 測量范圍:0~199.9mv 靈敏度:100μv 度:0.2%(±2個字) (4) 供電電源: AC:220V ±10% 50/60HZ 功率8W (5) 使用環(huán)境: 相對濕度≤80% (6) 重量、體積 重量:2.2 公斤 體積:寬210×高100×深240(mm) (7)KD探針頭 壓痕直徑:30/50μm 間距:1.00mm 探針合力:8±1N 針材:TC |
1.方塊電阻范圍:10-5~2×105Ω/□
2.電阻率范圍:10-6×106cm
3.測試電流范圍:0.1μA ,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100 mA
4.電流精度:±0.1%讀數(shù)
5.電阻精度:≤0.3%
6.顯示讀數(shù):液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率
7.測試方式: 雙電測量
8.工作電源: 輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗:<30W
9.整機不確定性誤差: ≤4%(標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果)
10. 最高溫度: 1200℃可調(diào)節(jié);沖溫值:≤1-3℃;控溫精度:±1°C
11、升溫速度:9999分鐘以內(nèi)自由設(shè)定,一般10分鐘內(nèi)即可升到900℃;功率:3kw.
12、爐膛材料:采用復(fù)合陶瓷纖維材料,具有真空成型,高溫不掉粉的特征。
13.專用測試PC軟件一套,USB通訊接口,軟件界面同步顯示、分析、保存和打印數(shù)據(jù)!
14.選購:電腦和打印機供應(yīng)高溫四探針電阻率測試系統(tǒng)
采用由四探針雙電測量方法測試方阻和電阻率系統(tǒng)與高溫試驗箱結(jié)合配置專用的高溫測試探針治具,滿足半導(dǎo)體材料因溫度變化對電阻值變化的測量要求,通過先進(jìn)的測控軟件可以顯示出溫度與電阻,電阻率,電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲線,是檢驗和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。
廣泛用于:生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門對導(dǎo)電陶瓷、硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率、測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導(dǎo)電玻璃(ITO)和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻、電阻率和電導(dǎo)率數(shù)據(jù).
供應(yīng)高溫四探針電阻率測試系統(tǒng)
三、功能介紹:液晶顯示,無需人工計算,并帶有溫度補償功能,電阻率單位自動選擇,儀器自動測量并根據(jù)測試結(jié)果自動轉(zhuǎn)換量程,無需人工多次和重復(fù)設(shè)置。采用高精度AD芯片控制,恒流輸出,結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便,運輸安全、使用方便;配備軟件可以由電腦操控,并保存和打印數(shù)據(jù),自動生成報表;
本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示,同時顯示液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率,配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。
測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項目要求選購.
雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測量。該儀器設(shè)計符合單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換,進(jìn)行兩次電測量,對數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測分析,自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響,它與單電測直線或方形四探針相比,大大提高精確度,特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。
供應(yīng)高溫四探針電阻率測試系統(tǒng)
一、概述:
采用由四探針雙電測量方法測試方阻和電阻率系統(tǒng)與高溫試驗箱結(jié)合配置專用的高溫測試探針治具,滿足半導(dǎo)體材料因溫度變化對電阻值變化的測量要求,通過先進(jìn)的測控軟件可以顯示出溫度與電阻,電阻率,電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲線,是檢驗和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。
二、適用行業(yè):
廣泛用于:生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門對導(dǎo)電陶瓷、硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率、測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導(dǎo)電玻璃(ITO)和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻、電阻率和電導(dǎo)率數(shù)據(jù).
三、功能介紹:液晶顯示,無需人工計算,并帶有溫度補償功能,電阻率單位自動選擇,儀器自動測量并根據(jù)測試結(jié)果自動轉(zhuǎn)換量程,無需人工多次和重復(fù)設(shè)置。采用高精度AD芯片控制,恒流輸出,結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便,運輸安全、使用方便;配備軟件可以由電腦操控,并保存和打印數(shù)據(jù),自動生成報表;
本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示,同時顯示液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率,配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。
測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項目要求選購.
雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測量。該儀器設(shè)計符合單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換,進(jìn)行兩次電測量,對數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測分析,自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響,它與單電測直線或方形四探針相比,大大提高精確度,特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。
四、技術(shù)參數(shù)資料
1.方塊電阻范圍:10-4~2×105Ω/□
2.電阻率范圍:10-5×106cm
3.測試電流范圍:0.1μA ,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100 mA
4.電流精度:±0.1%讀數(shù)
5.電阻精度:≤0.3%
6.顯示讀數(shù):液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率
7.測試方式: 雙電測量
8.工作電源: 輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗:<30W
9.整機不確定性誤差: ≤4%(標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果)
10. 最高溫度: 1200℃可調(diào)節(jié);沖溫值:≤1-3℃;控溫精度:±1°C
11、升溫速度:9999分鐘以內(nèi)自由設(shè)定,一般10分鐘內(nèi)即可升到900℃;功率:3kw.
12、爐膛材料:采用復(fù)合陶瓷纖維材料,具有真空成型,高溫不掉粉的特征。
13.專用測試PC軟件一套,USB通訊接口,軟件界面同步顯示、分析、保存和打印數(shù)據(jù)!
14.選購:電腦和打印機
便攜式四探針電阻率測試儀 便攜式四探針電阻率檢測儀
型號:DL04-KDY-1A
概述
便攜式電阻測度儀是用來測量硅晶塊、晶片電阻率及擴散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。
本儀器按照半導(dǎo)體材料電阻率的國際及國家標(biāo)準(zhǔn)測試方法有關(guān)規(guī)定設(shè)計。
它主要由電器測量部份(主機)及四探頭組成,需要時可加配測試架。
為減小體積,本儀器用同塊數(shù)字表測量電流及阻率。樣品測試電流由高精寬的恒流源提供,隨時可進(jìn)行校準(zhǔn),以確保電阻率測量的準(zhǔn)確度。因此本儀器不僅可以用來分先材料也可以用來作產(chǎn)品檢測。對1~100Ω•cm標(biāo)準(zhǔn)樣片的測量瓿差不超過±3%,在此范圍內(nèi)達(dá)到國家標(biāo)準(zhǔn)級機的水平。
測量范圍:
可測量 電阻率:0.01~199.9Ω•cm。
可測方塊電阻:0.1~1999Ω/口
當(dāng)被測材料電阻率≥200Ω•cm數(shù)字表顯示0.00。
(2)恒流源:
輸出電流:DC 0.1mA~10mA分兩檔
10mA量程:0.1~1mA 連續(xù)可調(diào)
10mA量程:1mA ~10mA連續(xù)可調(diào)
恒流精度:各檔均優(yōu)于±0.1%
適合測量各種厚度的硅片
(3) 直流數(shù)字電壓表
測量范圍:0~199.9mv
靈敏度:100μv
準(zhǔn)確度:0.2%(±2個字)
(4) 供電電源:
AC:220V ±10% 50/60HZ 功率8W
(5) 使用環(huán)境:
相對濕度≤80%
(6) 重量、體積
重量:2.2 公斤
體積:寬210×高100×深240(mm)
(7)KD探針頭
壓痕直徑:30/50μm
間距:1.00mm
探針合力:8±1N
針材:TC
四探針電阻率測試儀 方塊電阻測定儀
型號:SN/KDY-1
北京SN/KDY-1四探針電阻率測試儀工作原理是我公司嚴(yán)格按照硅片電阻率測量的國際標(biāo)準(zhǔn)(ASTM F84)及國家標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計制造,并針對目前常用的四探針電阻率測試儀存在的問題加以改進(jìn)。
整套儀器有如下特點:
1、 北京SN/KDY-1四探針電阻率測試儀工作原理配有雙數(shù)字表:一塊數(shù)字表在測量顯示硅片電阻率的同時,另一塊數(shù)字表(以萬分之幾的精度)適時監(jiān)測全過程中的電流變化,使操作更簡便,測量更精確。 數(shù)字電壓表量程:0—199.99mV 靈敏度:10μV 輸入阻抗:1000ΜΩ 0—9.999mV 靈敏度:1μV 輸入阻抗:10ΜΩ 基本誤差±(0.04-0.05%讀數(shù)+0.01%滿度)
2、 北京SN/KDY-1四探針電阻率測試儀工作原理可測電阻率范圍:0.001—6000Ω•cm。
3、 設(shè)有電壓表自動復(fù)零功能,當(dāng)四探針頭1、4探針間未有測量電流流過時,電壓表指零,只有1、4探針接觸到硅片,測量電流渡過單晶時,電壓表才指示2、3探針間的電壓(即電阻率)值,避免空間雜散電波對測量的干擾。
4、 流經(jīng)硅片的測量電流由高度穩(wěn)定(萬分之幾精度)的特制恒流源提供,不受氣候條件的影響。 電流量程分五檔:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。
5、 儀器采用觸點電阻更低(<5mΩ)、使用壽命更長的轉(zhuǎn)換開頭及繼電器(>10萬次),在絕緣電阻、電流容量方面留有更大的安全系數(shù),提高了測試儀的可靠性和使用壽命。
6、 可加配HQ-710E微處理機及打印機,實現(xiàn)自動換向測量、求平均值,計算并打印電阻率最大值、最小值、最大百分變化率、平均百分變化率等內(nèi)容。
7、 四探針頭采用國際上先進(jìn)的紅寶石軸套導(dǎo)向結(jié)構(gòu),使探針的游移率減小,測量重復(fù)性提高(國家知識產(chǎn)權(quán)局已于2005.02.02授予專利權(quán),專利號:ZL03274755.1)。
KDY-1型四探針電阻率測試儀是我公司嚴(yán)格按照硅片電阻率測量的國際標(biāo)準(zhǔn)(ASTM F84)及國家標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計制造,并針對目前常用的四探針電阻率測試儀存在的問題加以改進(jìn)。
整套儀器有如下特點:
1、 配有雙數(shù)字表:一塊數(shù)字表在測量顯示硅片電阻率的同時,另一塊數(shù)字表(以萬分之幾的精度)適時監(jiān)測全過程中的電流變化,使操作更簡便,測量更精確。 數(shù)字電壓表量程:0—199.99mV 靈敏度:10μV 輸入阻抗:1000ΜΩ 0—9.999mV 靈敏度:1μV 輸入阻抗:10ΜΩ 基本誤差±(0.04-0.05%讀數(shù)+0.01%滿度)
2、 可測電阻率范圍:0.001—6000Ω•cm。
3、 設(shè)有電壓表自動復(fù)零功能,當(dāng)四探針頭1、4探針間未有測量電流流過時,電壓表指零,只有1、4探針接觸到硅片,測量電流渡過單晶時,電壓表才指示2、3探針間的電壓(即電阻率)值,避免空間雜散電波對測量的干擾。
4、 流經(jīng)硅片的測量電流由高度穩(wěn)定(萬分之幾精度)的特制恒流源提供,不受氣候條件的影響。 電流量程分五檔:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。
5、 儀器采用觸點電阻更低(<5mΩ)、使用壽命更長的轉(zhuǎn)換開頭及繼電器(>10萬次),在絕緣電阻、電流容量方面留有更大的安全系數(shù),提高了測試儀的可靠性和使用壽命。
6、 可加配HQ-710E微處理機及打印機,實現(xiàn)自動換向測量、求平均值,計算并打印電阻率最大值、最小值、最大百分變化率、平均百分變化率等內(nèi)容。
7、 四探針頭采用國際上先進(jìn)的紅寶石軸套導(dǎo)向結(jié)構(gòu),使探針的游移率減小,測量重復(fù)性提高(國家知識產(chǎn)權(quán)局已于2005.02.02授予專利權(quán),專利號:ZL03274755.1)。
采用由四探針雙電測量方法測試方阻和電阻率系統(tǒng)與高溫試驗箱結(jié)合配置用的高溫測試探針治具,滿足半導(dǎo)體材料因溫度變化對電阻值變化的測量要求,通過先進(jìn)的測控軟件可以顯示出溫度與電阻,電阻率,電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲線,是檢驗和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。
應(yīng)用域
高溫四探針電阻率測試儀廣泛用于:生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門對導(dǎo)電陶瓷、硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率、測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導(dǎo)電玻璃(ITO)和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻、電阻率和電導(dǎo)率數(shù)據(jù).
產(chǎn)品特點高溫四探針電阻率測試儀液晶顯示,無需人工計算,并帶有溫度補償功能,電阻率單位自動選擇,儀器自動測量并根據(jù)測試結(jié)果自動轉(zhuǎn)換量程,無需人工多次和重復(fù)設(shè)置。采用高精度AD芯片控制,恒流輸出,結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便,運輸安全、使用方便;配備軟件可以由電腦操控,并保存和打印數(shù)據(jù),自動生成報表;
主要優(yōu)點采用4.3吋大液晶屏幕顯示,同時顯示液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率,配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。
測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項目要求選購.工作原理
雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測量。該儀器設(shè)計符合單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換,進(jìn)行兩次電測量,對數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測分析,自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響,它與單電測直線或方形四探針相比,大大提高精確度,特別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。
參數(shù)規(guī)格高溫四探針電阻率測試儀
1.方塊電阻范圍:10-4~2×105Ω/□
2.電阻率范圍:10-5×106cm
3.測試電流范圍:0.1μA ,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100 mA
4.電流精度:±0.1%讀數(shù)
5.電阻精度:≤0.3%
6.顯示讀數(shù):液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率
7.測試方式: 雙電測量
8.工作電源: 輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗:<30W
9.整機不確定性誤差: ≤4%(標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果)
10. 高溫度: 1200℃可調(diào)節(jié);沖溫值:≤1-3℃;控溫精度:±1°C
11、升溫速度:9999分鐘以內(nèi)自由設(shè)定,一般10分鐘內(nèi)即可升到900℃;功率:3kw.
12、爐膛材料:采用復(fù)合陶瓷纖維材料,具有真空成型,高溫不掉粉的特征。
13.用測試PC軟件一套,USB通訊接口,軟件界面同步顯示、分析、保存和打印數(shù)據(jù)!
14.選購:電腦和打印機
測試參數(shù):電壓, 電阻率, 方阻, 電阻
四探針電阻率測試儀,可測量片狀、塊狀半導(dǎo)體材料的徑向和軸向電阻率及擴散層的薄層電阻,適用于半導(dǎo)體和太陽能材料測試的要求,也可對分立電阻進(jìn)行測量。
測試參數(shù):電壓, 電阻率, 方阻, 電阻
四探針電阻率測試儀,可測量片狀、塊狀半導(dǎo)體材料的徑向和軸向電阻率及擴散層的薄層電阻,適用于半導(dǎo)體和太陽能材料測試的要求,也可對分立電阻進(jìn)行測量。
專用四端探針測試線!