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MC型氣體質(zhì)量流量控制器

一、產(chǎn)品概述：

該層狀流量控制器采用了一個(gè)比例閥，它與流量計(jì)部分相連。測量是在流量計(jì)的層狀區(qū)域進(jìn)行的，并且一體化的PID控制器按照用戶的可編程設(shè)定點(diǎn)定位閥門。這些堅(jiān)固的、閉環(huán)控制器可以接收0-5V的控制設(shè)置點(diǎn)信號(hào)，設(shè)置點(diǎn)信號(hào)或者來自一臺(tái)外部的設(shè)備，或者來自一臺(tái)可選的Alicat本地設(shè)定點(diǎn)模塊（LSPM）。

控制器還能接受RS-232，0-10Vdc，或4-20mA控制輸入信號(hào)，這取決于用戶的選擇愛好。與設(shè)定點(diǎn)電壓無關(guān)的是，控制器能配置為單路或雙路信號(hào)輸出，它們可以是同樣的或不同的電壓或參數(shù)，例如質(zhì)量流量和溫度或流量和壓力。這是因?yàn)槲覀兊馁|(zhì)量流量控制器綜合了固態(tài)的差壓、絕壓和溫度傳感器來計(jì)算流量。因此，流量計(jì)不僅使用簡單而且響應(yīng)快，同時(shí)具有固有的線性和能夠顯示和變送多個(gè)過程參數(shù)。有了RS-232數(shù)字連接，不僅所有的過程參數(shù)可以同時(shí)獲得而且還具有遠(yuǎn)程設(shè)置點(diǎn)能力。

在并行連接中，最多26臺(tái)設(shè)備能被單獨(dú)尋址和控制。氣體量程從每分鐘0.5毫升滿量程到每分鐘1500+升滿量程。規(guī)格尺寸標(biāo)注在設(shè)備背面，規(guī)格尺寸隨著工況的不同可能有所不同。（體積流量計(jì)不需要絕壓傳感器或離散溫度傳感器，因此會(huì)便宜些。他們常用于通風(fēng)到大氣或小的背壓應(yīng)用。）

二、流量控制器的性 1. 壓力，溫度，體積和質(zhì)量流量的持續(xù)顯示（M系列） 2. 簡易的按鍵操作界面 3. 無熱線圈的熱漂移 4. 固有的線性 5. 通過CE認(rèn)證 6. 可標(biāo)注用戶商標(biāo) 7. NIST Traceability 8. 設(shè)定點(diǎn)可通過動(dòng)態(tài)數(shù)字顯示 9. RS232串行輸出標(biāo)準(zhǔn)

三、設(shè)計(jì)特點(diǎn) 1. 滿量程從0.5CCM到1500LPM+ 2. 響應(yīng)時(shí)間100ms 3. 量程比優(yōu)于100：1 4. 位置不敏感 5. 自動(dòng)復(fù)位或在顯示屏上按復(fù)位鍵（Tare）復(fù)位 6. ±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程（高精度選項(xiàng)±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程） 7. 17種氣體選擇，無須重新校驗(yàn)（須帶顯示） 8. 動(dòng)態(tài)數(shù)字顯示 9. 本地控制能力

產(chǎn)品規(guī)格	MC	測量單位
量程范圍	0.5，1，2，5，10，20，50，100，200，500，800	(S)CCM
量程范圍	1，2，5，10，20，50，100，250，500，1000，1500	(S)LPM
精度等級(jí)	±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程（高精度選項(xiàng)±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程）	滿量程
重復(fù)性	±0.5%	滿量程
量程比	100：1
響應(yīng)時(shí)間	100	毫秒
壓降	-	與廠家商議
操作溫度	-10～50	℃
零點(diǎn)漂移	0.02%/ATM	滿量程/℃
范圍漂移	0.02%/ATM	滿量程/℃
濕度量程	0-100%	無冷凝
過流率	2.4%	滿量程
最大耐壓	125	PSIG
供應(yīng)電流	當(dāng)流量≤20LPM時(shí)： 0.25 當(dāng)流量≥50LPM時(shí)： 1	安培
電源電壓	當(dāng)流量≤20LPM時(shí)：12-25VDC 當(dāng)流量≥50LPM時(shí)：24-30VDC
輸入/輸出	0-5VDC，0-10VDC，4-20mA,RS-232	VDC
電氣連接	8針或可選的工業(yè)連接插頭	小型圓插頭 DIN
機(jī)械連接	1/8"接口：流量≤20(S)LPM 閥門側(cè)1/2"接口，流量計(jì)側(cè)1/4"接口：當(dāng)流量為50(S)LPM和100(S)LPM時(shí) 1/2"接口：當(dāng)流量為250～1000(S)LPM 1"接口：當(dāng)流量＞1000(S)LPM	NPTF
接液部件	303和302不銹鋼，Viton®，RTV硅樹脂，玻璃纖維增強(qiáng)尼龍，陽極氧化鋁，410&304不銹鋼，鎳，銅，Delrin®，Loctite®粘劑326，401，609

產(chǎn)品尺寸：

流量范圍	高度	長度	深度	流量計(jì)接口	閥門接口
≤20（S）LPM	4.08"	3.5"	1.56"	1/8" NPT(F)	1/8" NPT(F)
20～50（S）LPM	4.600"	～5.7"	2.0"	1/4" NPT(F)	1/2" NPT(F)
50～100（S）LPM	4.727"	～6.6"	2.0"	1/4" NPT(F)	1/2" NPT(F)
100～1000（S）LPM	5.242"	～6.6"	2.0"	1/2" NPT(F)	1/2" NPT(F)

注意事項(xiàng)：特別低的流量裝置可能配有特殊接口以減少死區(qū)量。有時(shí)候，特殊的流量/壓力條件可能規(guī)定各種接口尺寸的組合。

CMQ氣體質(zhì)量流量控制器

CMQ0005/0020/0050數(shù)字質(zhì)量流量控制器(小流量型)CMQ系列是高性能數(shù)字質(zhì)量流量控制器，它使用由山武公司研制的感熱式微流量傳感器和比例電磁閥這種高水平執(zhí)行器。因此CMQ具有高性能低成本。CMQ具有響應(yīng)快、控制范圍寬的特點(diǎn)，能滿足多種工業(yè)控制要求。

MPC9500山武氣體質(zhì)量流量控制器

此產(chǎn)品它是一款通過面板安裝來實(shí)現(xiàn)高水平的流量控制器的，而且它也是世界上最小、最輕的氣體質(zhì)量流量控制器，它具有操作簡單、安裝簡單的特性而被廣大客戶朋友們喜愛。

它在對(duì)浮子式流量計(jì)進(jìn)行更換時(shí)，操作和安裝也很簡單，沒有任何不適感，標(biāo)準(zhǔn)化配置了豐富的功能，根據(jù)顧客多樣化的需求，努力降低了設(shè)備的總成本。

此產(chǎn)品的設(shè)計(jì)與應(yīng)用是來應(yīng)對(duì)這樣的需求的：① 想要數(shù)字化設(shè)定和管理流量

② 想要解決浮子式流量計(jì)不可避免的“因設(shè)計(jì)與使用時(shí)的條件差異引起的測量誤差”

③ 想要控制流量，但是，不能接受價(jià)格昂貴、結(jié)構(gòu)復(fù)雜的測量儀器和復(fù)雜的操作

④ 想要將浮子式流量計(jì)更換為氣體質(zhì)量流量控制器，但是，不能對(duì)安放場所、配管布局等進(jìn)行大規(guī)模的更改等。

另外，此系列還有其它幾個(gè)型的產(chǎn)品，比如有MPC0002、MPC0005、MPC0020等，它們的適用氣體必須是干燥、清潔的。其控制范圍是4 ~ 100%FS，響應(yīng)性在1.0s以內(nèi)達(dá)到設(shè)定±2%FS（TYP），此外，它的精度為±2%FS以內(nèi)（標(biāo)準(zhǔn)溫度、標(biāo)準(zhǔn)差壓下），重復(fù)性為±1%FS以內(nèi)，溫度影響情況為每1°C為0.1%FS以下，標(biāo)準(zhǔn)差壓是0.2MPa，必要差壓則為0.05MPa，耐壓為0.5MPa（表壓），它的標(biāo)準(zhǔn)工作溫度為+ 25°C，允許工作溫度范圍在-10 ~ +50°C （但是，使用RS-485通訊功能時(shí)為0 ~ +50°C ），允許保存溫度范圍是-10 ~ +60°C，允許環(huán)境濕度范圍為10 ~ +90%RH（無結(jié)露）。此產(chǎn)品的接氣部分材質(zhì)為黃銅（鎳鍍金）、不銹鋼、特氟綸、氟橡膠，連接方式為Rc1/8，安裝方式為設(shè)定顯示部表面垂直，入口配管側(cè)在下、出口配管側(cè)在上的狀態(tài)，重量約300克。如需了解更多信息，請登錄www.zhoudar.com進(jìn)行咨詢！

該公司產(chǎn)品分類：流量計(jì) 傳感器伺服系統(tǒng)

V10FC-R直接熱式質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器（多種氣體可選）

V10FC-R直接熱式MFC/MFM采用熱消散原理技術(shù)，兩傳感器分別置于流量計(jì)主通道兩端,一傳感器為溫度傳感器,一傳感器為質(zhì)量流速傳感器,氣體流經(jīng)儀表時(shí)流經(jīng)通道,通過兩傳感器將檢測到的流量信號(hào)轉(zhuǎn)化成電信號(hào)，經(jīng)放大后轉(zhuǎn)換成0~5V或1~5V的電壓信號(hào)或4~20mA的電流信號(hào)。從而達(dá)到精確的測量和控制氣體的質(zhì)量流量.其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)是沒有分流器件,因此此產(chǎn)品可以測量易結(jié)晶的氣體介質(zhì),其基本組成由分流主通道、流量放大電路、溫度傳感器、壓力傳感器、差壓傳感器等部件；在質(zhì)量流量計(jì)的基礎(chǔ)上，再加上電磁比例調(diào)節(jié)閥門和PID控制電路就構(gòu)成了質(zhì)量流量控制器。產(chǎn)品應(yīng)用產(chǎn)品主要用于真空,鍍膜,石油化工,煤炭冶金,制氣配氣,環(huán)保及各種分析,科研院所實(shí)驗(yàn)設(shè)備。
產(chǎn)品特點(diǎn) ● 直接熱式原理、高精度、快速反應(yīng) ● 無壓損,抗結(jié)晶,抗腐蝕 ● 適用于各種管道壓力 ● 精確測量和控制氣體的質(zhì)量流量 ● 預(yù)熱時(shí)間短,零漂小，穩(wěn)定性高 ● 多種氣體可選,也可自行輸入
技術(shù)參數(shù)

技術(shù)指標(biāo)	V10FC-RC質(zhì)量流量控制器	V10FC-RM質(zhì)量流量計(jì)
量程范圍	小量程:0.5SCCM～10SLM 中量程:10SCCM～30SLM 大量程:30SCCM～250SLM
控制范圍	50：1
準(zhǔn) 確度	±1.5%F.S
線性	±0.5%F.S
重復(fù)精度	±0.2%F.S
響應(yīng)時(shí)間	100ms	10ms
數(shù) 字量	RS232/485
模擬量	0～5V、4～20mA、1～5V
通訊方式	MODBUS
工作溫度	0～50℃
工作壓力	工作壓差：0.03～0.5MPa	工作壓降：<0.01Mpa
最大耐壓	14MPa
電氣連接	DB15孔
漏率	1×10-9SCCSHe
溫度系數(shù)	±0.025%F.S/℃
底座材質(zhì)	316L
密封材料	氟橡膠,氯丁橡膠，丁晴橡膠
接頭	VCR1/4;swagelokφ6
防爆等級(jí)	IP65

D07-7K 氣體質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品型號(hào)	D07-7K
產(chǎn)品類型	普通型
流量量程	20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm
產(chǎn)品精度	±1％F.S.
重復(fù)精度	±0.2% FS
線性	±1％F.S.
響應(yīng)時(shí)間	≤4sec
工作溫度范圍	（5~45）°C
耐壓	3MPa
密封材料	氟橡膠Viton,氯丁橡膠（耐氨橡膠） Neoprene
輸入輸出信號(hào)	（0~5）VDC
電源	±15V
閥類型	常閉
溫度系數(shù)	- 無 -
零點(diǎn)飄移指標(biāo)	- 無 -
電氣連接	D sub 15 pins Female
工作壓差范圍	（0.1～0.5） MPa
漏率	1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He）
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式	雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ3,雙卡套1/8”,φ4（內(nèi)）×1軟管接頭,VCR1/4”,雙卡套1/4”,φ6（內(nèi)）×1軟管接頭
表面化學(xué)成分	- 無 -
表面粗糙度	- 無 -
抗電磁干擾	- 無 -
重量	1.1Kg

該公司產(chǎn)品分類：氣體流量計(jì) D08系列流量顯示儀/積算儀 cs系列數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器 D07系列模擬式質(zhì)量流量控制器

經(jīng)濟(jì)型質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品名稱：經(jīng)濟(jì)型質(zhì)量流量控制器

精度：精度%FS

型號(hào) GFC17,37 GFC47,57,67,77

流量范圍 0-100% 20-100% 0-20%

精度 ±1.5% ±1.5% ±3%

可選精度%FS

型號(hào) GFC17 GFC37，47,57,67,77

流量范圍 0-100% 20-100% 0-20%

精度 ±1% ±1% REF DATA with ±1%

校準(zhǔn)：標(biāo)況【14.7psia（101.4kpa），70℉（21.1℃）】

重復(fù)性：±0.25%滿里程、

響應(yīng)時(shí)間：在滿里程的25-100%范圍內(nèi)，2秒內(nèi)達(dá)到2%精度

溫度系數(shù)：0.05%滿里程/℃

壓力系數(shù)：0.01%滿里程/psi（0.07bar）

推薦氣體壓力：25psig（1.73bars）

最大氣體壓力：GFC17,37,47最大1000psi（70bars）.GFC57,67，77最大500psig（34.5bars）

量程比：40:1

方位靈敏度：水平到垂直旋轉(zhuǎn)低于15度；標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)是在水平位置

該公司產(chǎn)品分類：流量計(jì)

DSN-600CD廠家直供實(shí)驗(yàn)室熱式氣體流量控制器質(zhì)量流量控制器

D-600CD數(shù)字型質(zhì)量流量計(jì)

特性：D-600CD 產(chǎn)品采用單電源供電(6~16VDC)；一體顯示，也可以直接連電腦顯示；數(shù)字，模擬輸入輸出；具有多氣體多量程，高精度，極低零漂，軟起動(dòng)功能及強(qiáng)大的免費(fèi)客戶端使用軟件。

1、兩種輸入方式：1、1 模擬輸入：外部 0~5VDC或4~20 mA ；可選內(nèi)部物理量（0~5VDC或4~20mA 狀態(tài)下的% 、滿量程）輸入1、2 數(shù)字輸入： PC上位機(jī)軟件設(shè)定（RS232 或者RS485）2、兩種輸出方式：2、1 模擬輸出： 0~5VDC或4~20 mA ；2、2 數(shù)字輸出：通過 RS232 或者RS485 輸出到PC機(jī)

D-600MD數(shù)字型質(zhì)量流量控制計(jì)主要指標(biāo):流量規(guī)格（N2）：可選，（0~1，5，10，20，50，100,150，200）SCCM；

（0~1，5，10，20，30）SLM

準(zhǔn)確度： ±1%F.S.線性： ±0.5%F.S.重復(fù)精度： ±0.2%F.S.響應(yīng)時(shí)間： ≤1Sec工作壓差范圍： (0.05~0.3)MPa最大耐壓： 10Mpa工作環(huán)境溫度： 5~65℃電氣連接： 8 針（小型圓插頭）輸入/輸出信號(hào) Digital：RS232/RS485 ； Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA電源： 6~16VDC ；1A標(biāo)準(zhǔn)接頭： Swagelokφ6；Swagelok 1/4″；VCR1/4″

產(chǎn)品實(shí)拍圖：

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該公司產(chǎn)品分類：氣體質(zhì)量流量計(jì) 氣體流量控制器

XF805-JY-2B氣體進(jìn)樣器質(zhì)量流量控制器

氣體進(jìn)樣器用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、穩(wěn)定可靠、工作壓力范圍寬和樣品恒溫氣化等特點(diǎn)，廣泛用于石油化工等行業(yè)。顯示范圍：LED顯示大流量（FS）: 3000毫升/分鐘準(zhǔn) 確度：±2% 重復(fù) 精度：±2% 響應(yīng) 時(shí) 間：1～4秒工作壓力：3MPa 工作環(huán)境溫度：5℃～45℃ 大漂移：0.08% 氣化溫度：室溫～120℃ 控溫精度：±1.5℃ 電源：220V±20%

該公司產(chǎn)品分類：測氡儀氧氣檢測儀氫氣氣體檢測報(bào)警儀氣體檢測報(bào)警儀熏蒸氣體檢測儀空氣質(zhì)量檢測儀垃圾場有毒有害氣體測試儀酒精測試儀有毒氣體檢測儀甲烷檢測儀可燃?xì)怏w檢測儀/探測儀復(fù)合氣體檢測儀顯微鏡苯檢測儀揮發(fā)性有機(jī)氣體測試儀臭氧檢測分析儀甲醛檢測分析儀二氧化硫檢測儀檢測儀氨氣檢測儀

Compact熱質(zhì)式氣體質(zhì)量流量控制器

特點(diǎn)：

1.世界個(gè)使用電池電力之氣體質(zhì)量流量計(jì)

2.互補(bǔ)金屬氧化半導(dǎo)體元件(CMOS)技術(shù)原理

3.對(duì)壓力及溫度的話不敏感

4.高度和高解析度

5.使用時(shí)不需安裝其他配件

6.可使用電池電力或24伏特直流電力

7.安裝后可連續(xù)使用兩年自主性（電池部分)

8.LCD液晶直讀式設(shè)計(jì)及條狀圖形顯示

9.外型設(shè)計(jì)精巧可耐壓力之衛(wèi)擊

10.可選配手動(dòng)針狀閥或開關(guān)功能

流量范圍： 0~10/100/1000/5000ml/min 0~5/10/50/100/100/200/300L/min (依客戶選定) 精確度：+/-1% FS

反應(yīng)時(shí)間：500毫秒

操作溫度：0~50℃

A-32680（空氣）A-32682(O2）A-32683（H2）A-32685質(zhì)量流量控制器

-通過計(jì)算機(jī)及RS-485接口/RS-232連接測定/控制各種氣體。 -控制器可以設(shè)定流速、報(bào)警、總計(jì)數(shù)器、讀取總計(jì)數(shù)器、歸零等功能。 -控制器可以控制泵、閥、或其它裝置的開關(guān)以控制流量 -控制器內(nèi)存有10種氣體的校正參數(shù)。 -控制器具有自診功能和自動(dòng)計(jì)算功能使其能夠在的狀態(tài)下工作客戶可以根據(jù)需要選擇適當(dāng)?shù)目刂破?