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Agilent 5529A雙頻激光干涉儀

產(chǎn)品簡介

隨著精密機械零件的要求在繼續(xù)增加，Agilent 5529A動態(tài)校準(zhǔn)系統(tǒng)能幫助機床用戶獲得成功。Agilent 5529A為機床制造商和用戶提供測量機床定位和精度的基本部件；用經(jīng)補償?shù)臄?shù)據(jù)校準(zhǔn)機床的定位誤差；診斷幾何形狀問題；以及符合7種國際標(biāo)準(zhǔn)的機床性能文檔。

您可用Agilent 5529A選擇全套校準(zhǔn)部件，包括激光源、校準(zhǔn)器和材料補償板、材料和空氣傳感器、光纖套件、電纜和附件。您也可選擇3種預(yù)配置系統(tǒng)（不包括光纖）。

Agilent 5529B基本系統(tǒng)：包括激光源、校準(zhǔn)器和材料補償板、材料和空氣傳感器、電纜和附件。

Agilent 5529V Vectra系統(tǒng)：包括校準(zhǔn)器和材料補償板、HP Vectra PC和super VGA顯示。

Agilent 5529U升級系統(tǒng)：包括校準(zhǔn)器和材料補償板、適配器電纜，您能從Agilent 5528A升級到Agilent 5529A。

特性：

l 專利Agilent激光管設(shè)計，性MTBF大于 50,000 小時

l 用戶友好的Windows軟件

l 文檔使用8種語言：英語、法語、德語、意大利語、日語、西班牙語，以及簡體和繁體漢語

l 符合7種國際標(biāo)準(zhǔn)： NMTBA, BDI/DGQ 3441, ANSI B5.54, BSI 3800, ESO 230-2, JIS, 和 GB 10931-89

l 在線幫助

如果需要詳細(xì)的資料請發(fā)Email：xie_feng79@163.com

產(chǎn)品功能定位精度、重復(fù)定位精度、位移距離測量、速度加速度測量、線性度、直線度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動角、角速度、圓形軌跡、微振動測量，還能夠測量數(shù)控機床回轉(zhuǎn)臺的定位精度和重復(fù)定位精度等，從而實現(xiàn)定位、校準(zhǔn)、控制和補償。ZLM700主要用于單軸系統(tǒng)的校準(zhǔn)和測量，廣泛應(yīng)用于高速動態(tài)加工工藝中的機械定位和系統(tǒng)控制。性能優(yōu)勢

l 真正意義上的雙頻激光干涉儀，頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”的區(qū)別。眾所周知雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。世界范圍內(nèi)只有兩家雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商，德國耶拿爾公司是其中的一家。

l 全部部件皆在德國生產(chǎn)制造，絕非為了降低成本而在第三方國家進行部件加工。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡，是世界上一家將的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。

l 測量系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計，各種測量功能之間互不影響。若用戶先期只需要干涉儀的部分功能（如僅測量直線度），則僅采購所需功能部分的光學(xué)部件（直線度光學(xué)鏡），其他不需要的功能暫時可以不采購；若后期有其他功能的需求，補充采購功能對應(yīng)的部件即可。

l 激光器壽命更長，可達20000小時，激光穩(wěn)頻精度高，一小時內(nèi)為±0.002ppm，在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達±0.02ppm。

l 干涉鏡采用差分干涉原理，系統(tǒng)精度更高，可達±0.4ppm。

l 計算機輔助光路調(diào)整，調(diào)整結(jié)果更。

l 采樣頻率更快，達1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進行選擇。

l 被測物體最大速度16m/s（可選）；采用高精度AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器，分辨率達0.6nm（當(dāng)移動速度為1m/s時，線性分辨率更可高達為0.1nm）。

l 無加速度限制；當(dāng)光線微弱時，性能也十分穩(wěn)定。

l 信號延時<200ns；對電磁干擾不敏感。

l 對于多軸聯(lián)動的復(fù)雜光路測量和微位移測量，請選用ZLM800型雙頻激光干涉儀，最多可實現(xiàn)六軸聯(lián)動。

工作原理

專利型ZLM700激光干涉儀使用氦氖激光器，采用雙頻外差式工作模式。激光穩(wěn)頻精度為+/-0.002ppm，640MHz的頻差用于信號處理。這種高頻處理信號能夠?qū)Ω咚傥矬w進行測量，不會出現(xiàn)干擾誤差，信號延時時間極短。

采用光纖電纜，把來自干涉鏡的信號傳輸?shù)接嬎銠C卡槽連接的電子計數(shù)器上，避免了外部電磁環(huán)境對測量信號的干擾。因此，ZLM700雙頻激光干涉儀特別適用于惡劣的生產(chǎn)環(huán)境、標(biāo)準(zhǔn)化實驗室和高真空環(huán)境。

技術(shù)參數(shù)

型號：ZLM700	使用高性能數(shù)據(jù)處理器AE950 PCI
He-Ne激光平均波長：	632.8 nm
激光穩(wěn)頻精度：	一小時2x10^-9（±0.002ppm）壽命內(nèi)2x10^-8（±0.02ppm）
系統(tǒng)精度（0-40℃時）：	±0.4ppm
光束直徑：	6mm （可選3.2mm）
激光管突發(fā)最大輸出功率：	1mW （激光等級2）
每束光可測量的軸數(shù)：	1
線性測量距離：	40m，可擴展為120m
角度測量范圍：	± 15°，20m軸線范圍
平面度測量范圍：	20m行程
直線度測量范圍：	± 5mm，2m或10m行程，選用角度干涉儀可測30m行程
垂直度測量范圍：	± 5mm，2m或10m行程， 30m行程需用角度干涉儀
最大速度：	4m/s，可選16m/s 80rad/s，角速度
最大加速：	無限制
采樣頻率：	內(nèi)部1MHz，外部40MHz
預(yù)熱時間：	10分鐘
精度/非線性：	±0.3nm （角隅反射鏡） ±0.1nm （平面反射鏡）
距離測量分辨率：	0.6nm （角隅反射鏡） 0.3nm （平面反射鏡） 0.1nm 可選
距離測量精度：（20°±0.5°）使用AUK時（20°±0.5°）真空中時	±0.4ppm （μ/m） ±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
線性度測量分辨率：	0.6nm （角隅反射鏡） 0.3nm （平面反射鏡） 0.1nm 可選
線性度測量精度：（20°±0.5°）使用AUK時（20°±0.5°）真空中時	±0.4ppm （μ/m） ±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
速度測量精度：	±0.5ppm實測值
角度測量分辨率：	0.015μrad （3x10^-3弧秒）
角度測量精度：	±0.1ppm實測值
平面度測量分辨率：	0.015μrad （3x10^-3弧秒）
平面度測量精度：	±0.2%實測值 ±0.05 弧度/米運行距離
直線度測量分辨率：	36nm，10m行程 7.25nm，2m行程
直線度測量精度：	±0.5%實測值，2m行程 ± 2.5%實測值，10m行程
垂直度測量分辨率：	36nm，10m行程 7.25nm，2m行程
垂直度測量精度：	±0.5%實測值2m，± 0.5弧秒* ±2.5%實測值10m，± 0.5弧秒*
數(shù)據(jù)接口：	積分信號 32 Bit （實時時間） Dt » 20 ns
數(shù)據(jù)分析標(biāo)準(zhǔn)：	ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作環(huán)境：	溫度：15°C-30°C 濕度：<90%無冷凝
儲存環(huán)境：	溫度：10°C-40°C 濕度：<95%無冷凝