應(yīng)用： · 殘余氣體或泄漏檢測 · 實質(zhì)上的泄漏或脫附分析 · 除氣研究 · 烘烤周期 · 泵效能 · 腔室/過程氣體污染物 特點： · HMT型適用于高壓4x10-3 Torr操作（最小壓力4x10-8 Torr） · 在P 〈 10-4 Torr時具有高靈敏度的RGA操作模式，最小壓力1x10-11 Torr · 最大質(zhì)量數(shù)100amu，軟件操作。 · 穩(wěn)定性好(24h之上，高度變化小于±1% ) · MASsoft軟件控制，或由局域網(wǎng)進(jìn)行多個系統(tǒng)控制 · 快速顯示柱狀圖、趨勢分析和信號峰 · 混合模式掃描－多個windows窗口顯示信息，例如趨勢、柱狀圖和信號峰 · 同步顯示數(shù)據(jù)圖，列表 · 同步背景扣除，自動質(zhì)量數(shù)列表 · 數(shù)據(jù)輸出為ASCII格式，至windows設(shè)備 · 即時動態(tài)數(shù)據(jù)交換至其他DDE兼容的windows軟件，例如 Excel、SPC-IV統(tǒng)計過程控制軟件