微機(jī)繼電保護(hù)測(cè)試儀是一個(gè)新型智能化測(cè)試儀器 ,以前的繼電保護(hù)試驗(yàn)工具主要是用調(diào)壓器和移相器組合而成,體積笨重,精度不高,已不能滿(mǎn)足現(xiàn)柳闊專(zhuān)業(yè)提供微機(jī)繼電保護(hù)測(cè)試儀以智能型主機(jī),主機(jī)采用DSP芯片控制,16位DAC輸出,對(duì)基波可產(chǎn)生每周2000點(diǎn)的高密度正弦波,為國(guó)內(nèi)測(cè)試儀中的最高水平。大大改善了波形質(zhì)量,提高了測(cè)試儀的精度。
微機(jī)繼電保護(hù)測(cè)試儀單機(jī)獨(dú)立運(yùn)行,裝置由旋轉(zhuǎn)鼠標(biāo)通過(guò)大屏幕液晶顯示屏幕進(jìn)行操作。
微機(jī)繼電保護(hù)測(cè)試儀聯(lián)接電腦運(yùn)行,連機(jī)打印報(bào)告等。
微機(jī)繼電保護(hù)測(cè)試儀“傻瓜式”操作,采用先進(jìn)的“光電旋轉(zhuǎn)鼠標(biāo)”控制器,免去復(fù)雜的鍵盤(pán)操作,不需要計(jì)算機(jī)知識(shí)都可操作,簡(jiǎn)便易學(xué)。
微機(jī)繼電保護(hù)測(cè)試儀模塊化設(shè)計(jì),所有插件之間完全獨(dú)立,只需要換插件即可實(shí)現(xiàn)硬件的維護(hù)和升級(jí)。
微機(jī)繼電保護(hù)測(cè)試儀由于是六相電流,六相電壓輸出,可方便對(duì)備自投裝設(shè)置和微機(jī)差動(dòng)保護(hù)裝置進(jìn)行試驗(yàn),使該項(xiàng)試驗(yàn)非常完美。
7,單機(jī)獨(dú)立運(yùn)行,內(nèi)置高性能工控機(jī),住頻300~600MHZ,128M內(nèi)存,12G硬盤(pán),運(yùn)行Windows Xp操作系統(tǒng),面板配有高級(jí)不銹鋼鍵盤(pán),軌跡球鼠標(biāo)8.4寸TFT真彩液晶顯示器。
8,六相電流,六相電壓同時(shí)輸出。
9,可方便對(duì)備自投裝置和微機(jī)差動(dòng)保護(hù)裝置進(jìn)行試驗(yàn)。
10,可對(duì)現(xiàn)場(chǎng)各種繼電器,保護(hù)及安全自動(dòng)裝置進(jìn)行檢定,并可模擬各種復(fù)雜瞬時(shí)性,永久性,轉(zhuǎn)換性故障進(jìn)行整組試驗(yàn)。可實(shí)時(shí)保存測(cè)試數(shù)據(jù),顯示矢量圖,繪制各種特性曲線(xiàn),聯(lián)機(jī)打印報(bào)表等。
11,采用USB2.0接口與PC機(jī)相連,無(wú)須任何轉(zhuǎn)接線(xiàn),使用方便。
13, 整機(jī)采用開(kāi)關(guān)電源及開(kāi)關(guān)放大器技術(shù)。
14, 模塊化設(shè)計(jì),所有插件之間完全獨(dú)立,只需更換插件即可實(shí)現(xiàn)硬件的維護(hù)和升級(jí)。
15, 隨意配置,如配置成6相電流,5相電壓 2相電流等。
16, 用戶(hù)可通過(guò)軟件對(duì)測(cè)試儀精度進(jìn)行校準(zhǔn)
17, 可對(duì)Comtrade格式的故障錄波數(shù)據(jù)進(jìn)行回放。
18, 按國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)有電源功率因數(shù)校正電路,使裝置效率高達(dá)95%以上。
19, 微機(jī)繼電保護(hù)測(cè)試儀供電電壓下降到120V時(shí),仍保證裝置正常工作。
20, 功放采用硬件保護(hù)方式,保證裝置的可靠性。
代微機(jī)繼電保護(hù)的校驗(yàn)工作。
最大聯(lián)網(wǎng)臺(tái)數(shù) :1000 臺(tái)(需配中繼器)
流水容量:6 萬(wàn)條
可開(kāi)戶(hù)卡 :5萬(wàn)張
卡片類(lèi)型 :Mifare One S50卡 或者 ID卡
感應(yīng)距離 :跟購(gòu)買(mǎi)的讀頭的讀卡距離一致
讀卡時(shí)間 :0.3秒
通訊方式 :TCP/IP(UDP通訊方式)、433無(wú)線(xiàn)通訊(默認(rèn)TCP/IP)
傳輸速率 : 57600bps
顯示屏 :指示燈指示工作狀態(tài)
時(shí)段修改:16個(gè)時(shí)間組
工作電壓 :DC12V
功率 :動(dòng)態(tài)小于7W
工作環(huán)境濕度:10%-90%
工作環(huán)境溫度:0℃-50℃
讀頭類(lèi)型:韋根26或者韋根34,(默認(rèn)韋根34)
1、門(mén)禁功能特點(diǎn)
1) 刷卡記錄:當(dāng)人員進(jìn)/出門(mén)時(shí)需持卡在讀卡器前進(jìn)行讀卡,讀卡器讀取信
息后,將信息傳送到主機(jī),主機(jī)首先判斷該信息是否合法,如合法則發(fā)出開(kāi)門(mén)指
令,即向電鎖發(fā)送一接通信號(hào),使門(mén)打開(kāi);不合法則不發(fā)送開(kāi)門(mén)指令并可發(fā)出警
報(bào)。同時(shí)主機(jī)會(huì)將刷卡信息、日期、時(shí)間等數(shù)據(jù)保存以供查詢(xún)或直接傳輸?shù)诫?/span>
腦進(jìn)行處理。
2) 控制中心:控制中心通過(guò)電腦可分部門(mén)建立員工資料庫(kù),定期或?qū)崟r(shí)采集每個(gè)門(mén)的進(jìn)出資料,同時(shí)按部門(mén)進(jìn)行匯總、查詢(xún)、分類(lèi)及打印等。主機(jī)的各種參數(shù)均可由電腦進(jìn)行設(shè)置,也可在各主機(jī)直接設(shè)定。
3) 多級(jí)管理:本系統(tǒng)能很方便地實(shí)現(xiàn)多級(jí)管理功能,控制中心可通過(guò)電腦
可設(shè)置每張卡,即每個(gè)人的進(jìn)出權(quán)限、時(shí)間范圍、節(jié)假日限制等,如:高級(jí)管理者可隨時(shí)進(jìn)出任何一扇門(mén)、部門(mén)管理者可進(jìn)出本部門(mén)所有門(mén)、而一般職員只能在上班時(shí)間內(nèi)進(jìn)出本部門(mén)的門(mén),超出上班時(shí)間將無(wú)法進(jìn)出。還可以結(jié)合密碼輸入
來(lái)確認(rèn)持卡者的合法性,然后決定是否開(kāi)門(mén),各種權(quán)限可由用戶(hù)自由設(shè)置。
4) 系統(tǒng)擴(kuò)充:本系統(tǒng)最基本的配置是1個(gè)讀卡器、1個(gè)控制器、1把電鎖及1張卡片就可達(dá)到門(mén)禁管制目的。當(dāng)用戶(hù)需要擴(kuò)充功能時(shí),系統(tǒng)可按照所需功能增加相應(yīng)的擴(kuò)充模塊來(lái)達(dá)到目的。
5)通訊方式:采用無(wú)線(xiàn)433通訊方式,免布線(xiàn)煩惱,減少人工成本,可實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)傳輸功能,數(shù)據(jù)安全,抗干擾性強(qiáng),獨(dú)立操作性能高。若距離不夠,可選擇僅僅延長(zhǎng)無(wú)線(xiàn)接收器方式來(lái)實(shí)現(xiàn)更遠(yuǎn)距離設(shè)備的數(shù)據(jù),擴(kuò)展性強(qiáng)。
標(biāo)配UDP通訊,無(wú)需設(shè)置IP地址,自動(dòng)搜索獲取,方便設(shè)備連線(xiàn)。可刷卡開(kāi)門(mén),也可以選擇密碼開(kāi)門(mén)。
2、門(mén)禁優(yōu)勢(shì)凸顯
1)一卡通軟件
采用32位系統(tǒng),全套一卡通配置,實(shí)現(xiàn)真正意義的一卡一庫(kù),滿(mǎn)足每一個(gè)子系統(tǒng)共用一張卡,共用所有人事資料。獨(dú)立研發(fā)系統(tǒng),支持二次開(kāi)發(fā),和個(gè)性化功能定制。一卡通系統(tǒng)更人性化,科技化,給用戶(hù)提供更方便簡(jiǎn)潔的管理系統(tǒng)。
2)無(wú)線(xiàn)通訊門(mén)禁
綜合目前市場(chǎng)情況,大部分選擇TCP/IP網(wǎng)絡(luò)通訊方式,布線(xiàn)繁瑣,人工成本高,檢查線(xiàn)路復(fù)雜。所以我們提出無(wú)線(xiàn) 433通訊方式,這種頻率通訊方式,比目前廣泛運(yùn)用的WIFI無(wú)線(xiàn)抗干擾性強(qiáng),通訊距離超遠(yuǎn),完全解決了WIFI不能覆蓋無(wú)法通訊問(wèn)題。通過(guò)無(wú)線(xiàn)實(shí)時(shí)連接電腦,數(shù)據(jù)安全可靠,繼電器控制信號(hào)保持實(shí)時(shí)與電腦對(duì)接判斷,使得系統(tǒng)使用更讓客戶(hù)放心。
僅需配置一個(gè)無(wú)線(xiàn)433接收器,即可連接所有范圍內(nèi)的門(mén)禁系統(tǒng)。
·采用16位A/D轉(zhuǎn)換器,傳感器采樣精度達(dá)到1/65536,響應(yīng)快. ·模糊PID控制,輸出精度高達(dá)0.1%,張力控制更精確。 ·可以直接驅(qū)動(dòng)磁粉(電磁)離合器/制動(dòng)器,也可控制變頻、伺服等。 ·可以接受單路或雙路傳感器輸入信號(hào)。 ·可以進(jìn)行雙路輸出換卷控制,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)換卷。
概 述JK1000-A壓力儀表自動(dòng)校驗(yàn)系統(tǒng)是我廠(chǎng)綜合國(guó)內(nèi)外各種壓力校驗(yàn)設(shè)備的優(yōu)點(diǎn),推出的對(duì)壓力儀表實(shí)行全自動(dòng)檢測(cè)、校驗(yàn)、數(shù)據(jù)處理以及自動(dòng)生成檢定證書(shū)等功能的計(jì)算機(jī)壓力自動(dòng)校驗(yàn)系統(tǒng)。本系統(tǒng)裝置主要包括:電動(dòng)氣壓(真空)壓力自動(dòng)發(fā)生、調(diào)節(jié)系統(tǒng);電動(dòng)液壓壓力自動(dòng)發(fā)生、調(diào)節(jié)系統(tǒng);標(biāo)準(zhǔn)壓力信號(hào)輸出,變送器電流測(cè)量,壓力表自動(dòng)讀數(shù)攝像圖像采集數(shù)據(jù)處理系統(tǒng);壓力表、變送器數(shù)據(jù)報(bào)表自動(dòng)處理及其顯示系統(tǒng)。它充分發(fā)揮了工控機(jī)的的軟、硬件資源,采用的工控模板,實(shí)現(xiàn)高精度壓力測(cè)量和控制。標(biāo)準(zhǔn)視窗界面,鼠標(biāo)點(diǎn)擊操作,非常直觀、簡(jiǎn)潔,整個(gè)系統(tǒng)由計(jì)算機(jī)控制自動(dòng)造壓、自動(dòng)數(shù)據(jù)采集處理、存儲(chǔ)和文檔管理以及自動(dòng)生成檢定證書(shū)。執(zhí)行規(guī)程 JJG-49-1999 彈簧管式精密壓力表和真空表檢定規(guī)程JJG50-1999 彈簧管式一般壓力表、壓力真空表和真空表檢定規(guī)程JJG882-94 壓力變送器檢定規(guī)程JJG544-97 壓力控制器檢定規(guī)程JJG875-94 數(shù)字壓力計(jì)檢定規(guī)程JJG971-2002 液位計(jì)檢定規(guī)程性能指標(biāo)(一)電動(dòng)氣壓源:電動(dòng)造壓范圍為:-95~1000KPa,壓力連續(xù)可調(diào)。(二)電動(dòng)液壓源:電動(dòng)造壓,介質(zhì)為變壓器油,造壓范圍為0~60MPa,壓力連續(xù)可調(diào)。(三)氣壓測(cè)量單元:1、壓力測(cè)量:-95~1000KPa 精度0.05%F·S(選配原裝進(jìn)口校驗(yàn)儀精度可達(dá)0.025級(jí))2、電流測(cè)量0~25mA 精度0.02%F·S3、計(jì)算機(jī)顯示器與壓力校驗(yàn)儀顯示測(cè)試數(shù)據(jù),可同時(shí)顯示壓力值以及被校變送器的電流值。(四)液壓壓力測(cè)量單元壓力測(cè)量:0~60MPa 精度0.05%F·S,其余指標(biāo)同氣壓測(cè)量部分。(選配原裝進(jìn)口校驗(yàn)儀精度可達(dá)0.025級(jí))(五)壓力表自讀數(shù)精度:對(duì)常規(guī)壓力表,每個(gè)壓力點(diǎn)的識(shí)別精度可以達(dá)到刻度線(xiàn)分度值的1/20,但對(duì)壓力表刻度線(xiàn)超過(guò)200條時(shí)識(shí)別精度不大于刻度線(xiàn)分度值的1/10,而人眼讀數(shù)精度最多刻度線(xiàn)分度值的1/5。(六)高精度壓力模塊及配置單元見(jiàn)下表: 系統(tǒng)標(biāo)準(zhǔn)配置共5個(gè)模塊,量程段任選,可任意選配壓力模塊。(原裝進(jìn)口校驗(yàn)儀及模塊,精度可達(dá)0.025且另外選型) 主控計(jì)算機(jī):研祥工控機(jī),配置P2.6以上/2G/250G/光驅(qū)/19″液晶 采集控制卡:步進(jìn)控制卡、數(shù)據(jù)采集卡(JH2000校驗(yàn)儀),光隔輸入、輸出卡、圖形采集卡 證書(shū)打印機(jī):Canon或HP系列 在Win98平臺(tái)上用BCB6.0編程,全中文界面,標(biāo)準(zhǔn)Wndows操作,方便快捷 各種儀表校驗(yàn)數(shù)據(jù)采集、處理,自動(dòng)生成校驗(yàn)數(shù)據(jù)表格、報(bào)告和證書(shū) 數(shù)據(jù)管理可追溯和不可更改性,可查詢(xún)被校儀表的檔案信息
(七)計(jì)算機(jī)主機(jī)配置采用進(jìn)口工控主板以及控制板卡,性能,穩(wěn)定性好。軟件在WIN98/ME視窗環(huán)境界面下用BCB6.0語(yǔ)言編寫(xiě),全中文界面,功能強(qiáng)大,操作簡(jiǎn)單,能程控自動(dòng)造壓,逐點(diǎn)校驗(yàn)儀表,并能同時(shí)自動(dòng)記錄下測(cè)試結(jié)果,自動(dòng)生成數(shù)據(jù)庫(kù)文件和產(chǎn)品檢定證書(shū)。具體系統(tǒng)配置如下:
(八)電源要求:AC220V±10% 50Hz/1.5KW,接地電阻≤4Ω(九)操作臺(tái)尺寸:1600×840×1300mm
產(chǎn)品介紹 |
高性能…… 高速/多通道/高耐壓 最小測(cè)量周期10ms (可實(shí)現(xiàn)24ch/10ms,60ch/100ms的高速測(cè)量) 最大可實(shí)現(xiàn)1200ch的數(shù)據(jù)采集。(使用橫河提供的軟件時(shí)) 輸入端子之間(高絕緣)3700Vrms(1分鐘)、600Vrms/VDC(連續(xù)) 多周期 在一個(gè)系統(tǒng)內(nèi)可以混合使用3種測(cè)量周期。(測(cè)量周期可以對(duì)每個(gè)模塊單獨(dú)進(jìn)行設(shè)定) 易于使用…… 自由構(gòu)建系統(tǒng) 根據(jù)組合安裝的模塊、系統(tǒng)可以任意配置。(通道數(shù)4ch~1200ch、測(cè)量周期10ms~60s) 對(duì)應(yīng)多樣的PC測(cè)量環(huán)境 具有橫河提供的軟件、API函數(shù)庫(kù)(用戶(hù)自行制作軟件時(shí)使用)、LabVIEW驅(qū)動(dòng)程序 無(wú)需手工設(shè)置 使用橫河提供的軟件可以自動(dòng)識(shí)別連接的MX100記錄儀 每次測(cè)量時(shí)無(wú)需重新接線(xiàn) 具有可拆卸的端子板。 |
使用條件:
供電電源:DC直流24V,兩相交流220v,(-10%,+15%),50HZ
防護(hù)等級(jí):IP41或IP20
環(huán)境條件:環(huán)境溫度在0℃-55℃,防止太陽(yáng)光直接照射;空氣的相對(duì)濕度應(yīng)小于85%(無(wú)凝露)。遠(yuǎn)離強(qiáng)烈的震動(dòng)源,防止震動(dòng)頻率為10-55HZ的頻繁或連續(xù)震動(dòng)。避免有腐蝕和易燃的氣體。
無(wú)錫工源自動(dòng)化技術(shù)有限公司坐落于無(wú)錫市錫山區(qū),是一家專(zhuān)業(yè)從事于環(huán)保水處理設(shè)備自動(dòng)化工程的開(kāi)發(fā)及系統(tǒng)改造工程。小型自動(dòng)化設(shè)備研制,改造及售后服務(wù)。公司本著“業(yè)有專(zhuān)工,以源為本”的精神,組建了自動(dòng)化經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師團(tuán)隊(duì),可承接國(guó)非標(biāo)自動(dòng)化的研發(fā)、設(shè)計(jì)、銷(xiāo)售、生產(chǎn)、調(diào)試。目前我們涉足以下領(lǐng)域;環(huán)保、照明、監(jiān)控、船舶、食品、汽車(chē)、化工等領(lǐng)域有大量的成功應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)及案例,歡迎新老客戶(hù)來(lái)電咨詢(xún)。
一、 控制柜
S7-200PLC控制、三菱伺服控制屏、動(dòng)力配電柜、S71200PLC控制、
高檔不銹鋼雙門(mén)控制箱、帶文本顯示器雙層防雨控制柜、觸摸屏控制箱、PLC控制箱內(nèi)部接線(xiàn)、高檔西門(mén)子屏控制柜、高當(dāng)仿威圖雙層防雨控制柜。
二、 自動(dòng)化設(shè)備
執(zhí)行器彈簧加工設(shè)備、全自動(dòng)恒壓供料設(shè)備、小熱熔機(jī)、熱板機(jī)
全自動(dòng)拔孔機(jī)、貫流風(fēng)葉焊接設(shè)備。
三、 自動(dòng)控制系統(tǒng)
中控室中控系統(tǒng)、控制氣浮、WICC上位組態(tài)、KINGVIEW上位組態(tài)、污水處理站 污水處理控制柜、S7-200控制柜、配料系統(tǒng)上位組態(tài)畫(huà)面、水處理系統(tǒng)。
公司網(wǎng)址:www.Cnzdh.cn
地址:江蘇省無(wú)錫市錫北鎮(zhèn)(張涇)錫港西路55號(hào)
1、高清晰:分辨率1微米,是傳統(tǒng)產(chǎn)品的10倍以上2、耗電少:是傳統(tǒng)產(chǎn)品的1/25 ~1 /103、速度快:是傳統(tǒng)產(chǎn)品的3~ 5倍以上4、穩(wěn)定:同類(lèi)產(chǎn)品無(wú)法比擬5、壽命長(zhǎng):是傳統(tǒng)產(chǎn)品的10倍以上
光打標(biāo)機(jī)主要應(yīng)用于一些要求更精細(xì)、精度更高的場(chǎng)合。應(yīng)用于電子元器件、集成電路(IC)、電工電器、手機(jī)通訊、五金制品、工具配件、精密器械、眼鏡鐘表、首飾飾品、汽車(chē)配件、塑膠按鍵、建材、PVC管材。可以說(shuō)激光噴碼機(jī)就是激光打標(biāo)機(jī)。但是并不是所以的激光打標(biāo)機(jī)都叫做激光噴碼機(jī)。激光噴碼機(jī)更多的是用來(lái)指能夠與流水線(xiàn)結(jié)合起來(lái)進(jìn)行在線(xiàn)飛行打標(biāo)的業(yè)內(nèi)稱(chēng)之為飛行激光打標(biāo)機(jī)的機(jī)器。
廣州萬(wàn)霆通用設(shè)備有限公司(www.wt1388.com)始于2003年,是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售于一體的高新科技知名激光設(shè)備制造商企業(yè),為企業(yè)提供全套的專(zhuān)業(yè)技術(shù)解決方案!激光打標(biāo)機(jī)又激光打碼機(jī),激光鐳射機(jī)等,用于金屬非金屬材質(zhì)生產(chǎn)日期,批號(hào),件號(hào),序列號(hào)打標(biāo),商標(biāo)LOGO,圖案文字,條形碼,二維碼等。
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部品名稱(chēng) 簡(jiǎn)要描述激光器 壽命長(zhǎng),理論上10萬(wàn)個(gè)工作小時(shí)以上主控機(jī)箱 激光電源,臺(tái)灣明緯品牌對(duì)焦系統(tǒng) 雙紅光自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)打標(biāo)指示系統(tǒng) 內(nèi)置輪廓、大小、方向位置指示透鏡系統(tǒng) 進(jìn)口波長(zhǎng),全系列鏡片組制冷系統(tǒng) 風(fēng)冷激光振鏡頭 一體化光具座設(shè)計(jì),專(zhuān)業(yè)數(shù)字振鏡,德國(guó)電機(jī)高速振鏡頭激光專(zhuān)業(yè)控制卡 專(zhuān)用打標(biāo)卡
技術(shù)參數(shù)功率 10W~100W (可根據(jù)需要定制各種功率)激光波長(zhǎng) 10.64μm功率穩(wěn)定性 ±5%光束質(zhì)量 1.2 ±2打標(biāo)范圍 70*70 200*200 (其他范圍可定制)線(xiàn)速 ≤15000mm/s (可自行調(diào)整)線(xiàn)寬 0.01mm (可自行調(diào)整)字符 0.1mm (可自行調(diào)整)重復(fù)精度 ±0.002重復(fù)頻率 20-200KHz 整機(jī)耗電 300W~800W電力需求 220V/50Hz冷卻方式 風(fēng)冷控制接口 標(biāo)準(zhǔn)USB支持文件格式 WINDOWS系統(tǒng)字庫(kù)和CAD字庫(kù)字體
廣泛適用各種衛(wèi)生潔具,醫(yī)療器械,眼鏡鐘表,汽車(chē)配件,塑料紙料,電子五金,工藝禮品,家具,皮革服裝,廣告標(biāo)牌,模型制作,食品包裝,電子元件,藥盒包裝,印刷制版,外殼銘牌,塑膠透光按鍵,IC芯片,數(shù)碼產(chǎn)品部件,精密機(jī)械,珠寶首飾,量具刃具,手機(jī)通訊部件,汽摩配件,建材管材等高精度產(chǎn)品標(biāo)識(shí)。各種條形碼,二維碼,各種類(lèi)型生產(chǎn)日期,批號(hào),件號(hào),序列號(hào)打標(biāo),商標(biāo)LOGO,圖案文字等,只要電腦能表示出來(lái)的文字,圖案都可以高精度零誤差的反映在工件上。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:此款設(shè)備配有Plasma實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng),滑軌式設(shè)計(jì)在操作時(shí)可將實(shí)驗(yàn)需要的恒定高溫直接推到樣品處,使樣品能得到一個(gè)快速的升溫速度,同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處,使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下,得到快速的降溫速率。并可選配氣氛微調(diào)裝置,可準(zhǔn)確的控制反應(yīng)腔體內(nèi)部的氣體壓力,帶刻度的調(diào)節(jié)閥對(duì)于做低壓CVD非常簡(jiǎn)單實(shí)用,工藝重復(fù)性好,對(duì)于石墨烯生長(zhǎng)工藝非常合適,也同樣適用于要求快速升降溫的CVD實(shí)驗(yàn)。
主要功能和特點(diǎn):
1、利用輝光放電產(chǎn)生等離子體電子激活氣相;
2、提高了氣相反應(yīng)的沉積速率、成膜質(zhì)量;
3、可通過(guò)調(diào)整射頻電源頻率來(lái)控制沉積速率;
4、能廣泛用于:石墨烯、SiOx、SiNx、CNx、TiCxNy等薄膜的生長(zhǎng)。
滑軌管式爐技術(shù)參數(shù) | |||||
| 石英管尺寸 | φ60*1500mm(管徑*管長(zhǎng)) | |||
加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲 | ||||
測(cè)溫元件 | N型熱電偶 | ||||
加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 440mm | ||||
恒溫區(qū)長(zhǎng)度 | 200mm | ||||
工作溫度 | ≤1100℃ | ||||
控溫模式 | 模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能 | ||||
控溫精度 | ±1℃ | ||||
升溫速率 | ≤20℃/min | ||||
電功率 | AC220V/50HZ/3KW | ||||
質(zhì)量供氣系統(tǒng)技術(shù)參數(shù) | |||||
| 外形尺寸 | 600x600x600mm | |||
標(biāo)準(zhǔn)量程 | 50sccm(CH4)、200sccm(H2)、500sccm(Ar、N2); | ||||
壓力表測(cè)量范圍 | -0.1Mpa~0.15Mpa | ||||
極限壓力 | 3MPa | ||||
針閥 | 316不銹鋼 | ||||
截止閥 | Φ6mm 316不銹鋼針閥 | ||||
電功率 | AC220V/50HZ/20W | ||||
響應(yīng)時(shí)間 | 氣特性:1~4 Sec,電特性:10 Sec | ||||
準(zhǔn)確度 | ±1.5% | ||||
線(xiàn)性 | ±0.5~1.5% | ||||
重復(fù)精度 | ±0.2% | ||||
接口 | Φ6,1/4'' | ||||
真空系統(tǒng)技術(shù)參數(shù) | |||||
| 外型尺寸 | 600×600×600mm | |||
工作電電壓 | 220V±10% 50~60HZ | ||||
功率 | 400W | ||||
抽氣速率 | 4L\s | ||||
極限真空 | 4X10-2Pa | ||||
實(shí)驗(yàn)真空度 | 1.0X10-1Pa | ||||
容油量 | 1.1L | ||||
進(jìn)氣口口徑 | KF25 | ||||
排氣口口徑 | KF25 | ||||
轉(zhuǎn)速 | 1450rpm | ||||
射頻電源 | |||||
| 信號(hào)頻率 | 13.56 MHz±0.005% | |||
功率輸出范圍 | 3W-300W 5W-500W可選 | ||||
最大反射功率 | 200W | ||||
射頻輸出接口 | 50 Ω, N-type, female | ||||
功率穩(wěn)定度 | ±0.1% | ||||
諧波分量 | ≤-50dbc | ||||
供電電壓 | 單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ | ||||
整機(jī)效率 | >=70% | ||||
功率因素 | >=90% | ||||
冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 |