<button id="y0k2s"></button> 產(chǎn)品應(yīng)用：
水生物飼養(yǎng)系統(tǒng) 廣泛適用于科研、教學(xué)等領(lǐng)域中，用于水中生物的培育、飼養(yǎng)、繁殖繁育。
整個(gè)系統(tǒng)耐海水設(shè)計(jì)？梢杂糜诤！⒌、苦咸水等環(huán)境。
每個(gè)水槽養(yǎng)殖單元，可單獨(dú)抽出來進(jìn)行清洗消毒。
每個(gè)水槽養(yǎng)殖單元循環(huán)水量、供氧量都獨(dú)立可控。
每個(gè)水槽養(yǎng)殖單元的水質(zhì)水溫可以一致，方便進(jìn)行對(duì)比實(shí)驗(yàn)。
底架采用316L或304不銹鋼制作。
水槽養(yǎng)殖單元的材質(zhì)可以是玻璃、PP（聚丙烯）、PC等等。
水槽養(yǎng)殖單元尺寸可依客戶要求定制，水質(zhì)處理系統(tǒng)配置可依客戶要求定制。
Walter-voss旋轉(zhuǎn)氣缸 Walter-voss馬達(dá) Walter-voss角行程執(zhí)行器 Walter Voss液壓驅(qū)動(dòng)系統(tǒng) Walter-voss水液壓元件Walter-voss溢流閥 Walter-voss節(jié)流閥 Walter-voss壓力閥 Walter-voss比例閥 Walter-voss止回閥
Walter-voss旋轉(zhuǎn)氣缸型號(hào)：HDZ50、HDZ63-10/120DSo、HDZ80、HDZ100、HDZ125、HDZ140、HDZ160、HDZ200、ASM40、ASM50、ASM63-F10-V27、ASM80、ASM100、ASM125、ASM140、ASM160、ZD40、ZD50、ZD63、ZD100/1.0/NWV180DV、ZD125、ZD140、ZD160、ZD200
Walter Voss的水液壓元件和液壓驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)幾乎在所有行業(yè)中使用，如：鋼鐵行業(yè)，電廠技術(shù)，橡膠工業(yè)，水力發(fā)電廠技術(shù)，塑料加工，近海及海岸工程，核電廠技術(shù)，食品行業(yè)等。
上海鉑鱗貿(mào)易有限公司位于上海，國(guó)外有分公司，我們準(zhǔn)們致力于從德國(guó)、美國(guó)及歐洲其他工業(yè)國(guó)家進(jìn)口各種工業(yè)產(chǎn)品備件及設(shè)備，只要您提供品牌和型號(hào)，我們便可以為您報(bào)出最優(yōu)惠的價(jià)格！期待您的咨詢！
聯(lián)系人：王振（銷售跟單）
電話：手機(jī)：15502113278 傳真：
QQ：2042267893 郵箱：wz@berling.com.cn 公司地址：上海市徐匯區(qū)斜土路2601號(hào)T1幢10D室
上海鉑鱗優(yōu)勢(shì)品牌：
美國(guó)：airpel氣缸 dynalco儀表 sprague泵 pearson電流傳感器 gems電磁閥 murphy儀表 BISON電機(jī) murr接頭 nugent硅藻土濾芯30-150-207 nordson泵 Topworx限位開關(guān) REXNORD軸承 NUMATICS電磁閥 ACOPIAN電源 AMI氧分析儀
德國(guó)：mahle過濾器、濾芯 FSG傳感器 smw卡盤 gelbau安全開關(guān) jumo傳感器 burster傳感器 TURCK接近開關(guān) inducoder編碼器 ADDAMCZEWSKI放大器 MAYSER繼電器 BUHLER傳感器、液位開關(guān) DI-SORIC接近開關(guān)、傳感器 mgv電源 jbw電機(jī)
英國(guó)：westlock閥門控制器、開關(guān) sprint-electric 驅(qū)動(dòng)器 Rocoil線圈 積分器
芬蘭：KONEPAJA KETOLA油缸密封件
歡迎詢價(jià)，合作！
校園一鍵式報(bào)警器- 校園一鍵式報(bào)警器 |校園一鍵報(bào)警器
1、一鍵緊急求助系統(tǒng)通過在每一層樓的學(xué)生宿舍內(nèi)配置多個(gè)緊急報(bào)警按鈕，接入放置在每層學(xué)生宿舍中的報(bào)警主機(jī)，通過大樓內(nèi)報(bào)警主機(jī)將求救信號(hào)給保衛(wèi)中心。
2防盜報(bào)警系統(tǒng)根據(jù)校保衛(wèi)處的要求，學(xué)生公寓里面全部采用安裝一鍵式緊急按鈕，用作緊急求助，使用報(bào)警主機(jī)多個(gè)房間緊急按鈕，
3、聯(lián)動(dòng)視頻通過NVR/DVR多路視頻聯(lián)動(dòng)與防區(qū)捆綁，實(shí)現(xiàn)學(xué)校公共區(qū)域多路視頻與報(bào)警聯(lián)動(dòng)。4、中心報(bào)警接警軟件采用欣廣安聯(lián)網(wǎng)報(bào)警平臺(tái)軟件，該軟件能將一鍵式緊急報(bào)警與防盜報(bào)警，視頻聯(lián)動(dòng)、等系統(tǒng)完全結(jié)合一起，可以實(shí)現(xiàn)一鍵緊急報(bào)警，公共區(qū)域還能實(shí)現(xiàn)視頻聯(lián)動(dòng)報(bào)警。
校園一鍵式報(bào)警器介紹
通過GPRS與平臺(tái)聯(lián)網(wǎng)報(bào)警1.LCD防區(qū)顯示：中/英文字符顯示
2.停電不停機(jī)，有內(nèi)置鋰電池3.有線/無線兼容，4路有線防區(qū)，3路警示燈牌接線端子，可配各種無線防盜探測(cè)器、紅外對(duì)射柵欄、煙感、煤氣感、緊急按鈕
4.防拆報(bào)警：非法破壞報(bào)警主機(jī)時(shí)，主機(jī)立即發(fā)出高分貝的報(bào)警語音，并同時(shí)通過GPRS向接警平臺(tái)或者預(yù)先設(shè)置好的電話報(bào)警。
5.低電斷電報(bào)警：信息息通知系統(tǒng)交流斷電或者電池低電信息。如系統(tǒng)與平臺(tái)組網(wǎng)使用，則系統(tǒng)也可將此類信息上傳到平臺(tái)。6.現(xiàn)場(chǎng)報(bào)警：：內(nèi)置高音喇叭，也可外接警笛，鳴叫時(shí)自動(dòng)切換7.遠(yuǎn)程操作：非報(bào)警情況下，主人輸入正確密碼后能遠(yuǎn)程用電話對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行布/撤防控制，還可以通過信息的方式或者在接警中心直接對(duì)主機(jī)遠(yuǎn)程布撤防功能
8.非法布撤防功能:如果某些探測(cè)器處于開放狀態(tài)，則主機(jī)布防時(shí)發(fā)出連續(xù)的B音提醒
9.系統(tǒng)自動(dòng)巡檢功能:分別是主機(jī)自動(dòng)巡檢,配件自動(dòng)巡檢,主機(jī)配件整個(gè)系統(tǒng)聯(lián)合自動(dòng)巡檢.整個(gè)系統(tǒng)的所有配件自動(dòng)記時(shí)巡檢工作狀態(tài)以及電量情況,定時(shí)向主機(jī)報(bào)告情況,主機(jī)向管理中心/平臺(tái)定時(shí)報(bào)告工作正常與否,時(shí)間和設(shè)置為自助可選。
10.現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)聽*功能：輸入正確密碼后，在報(bào)警范圍內(nèi)，能清晰地聽到現(xiàn)場(chǎng)作案者的語音、人走動(dòng)、挖、撬等動(dòng)作聲音；能遠(yuǎn)程通過電話遙控延長(zhǎng)或提前結(jié)束報(bào)警時(shí)間及視頻聯(lián)動(dòng)IPC鏡頭下的情況。
11.外接喇叭接口、靜音/警笛聲報(bào)警轉(zhuǎn)換，外接無線喇叭（和主機(jī)同步布防撤防功能）
12.電源交直流供電自動(dòng)切換功能：平常交流充電，交流停電自動(dòng)轉(zhuǎn)換，確保系統(tǒng)萬無一失13.配卷閘門磁使用時(shí)，可選擇關(guān)閉卷閘門系統(tǒng)自動(dòng)布防功能，解決了用戶忘記布防的問題14.帶USB升級(jí)接口
15.可接雙色閃爍警示燈牌16. 報(bào)警立即啟動(dòng)電燈功能17.接警聯(lián)網(wǎng)：GRRS傳輸小區(qū)聯(lián)網(wǎng)報(bào)警平臺(tái)功能，能與報(bào)警中心聯(lián)網(wǎng)使用，建立大社區(qū)聯(lián)網(wǎng)中心。也可通過平臺(tái)的TTS語音分防區(qū)報(bào)警
18.與大型深安平臺(tái)配套使用時(shí)：可選加心跳包傳輸,心跳包的間隙時(shí)間可由買家自設(shè)（所謂心跳包，是指終端與平臺(tái)之間每間隔一定時(shí)間就自動(dòng)連接通訊一次以確保系統(tǒng)處于正常工作狀態(tài)的巡檢功能的一種，如雙方某時(shí)未通訊，則平臺(tái)報(bào)警）。
報(bào)警發(fā)生后，主機(jī)自動(dòng)與接警中心通過GPRS連接并撥打用戶電話，接警后，主人能通過電話操作實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程布撤防19.學(xué)習(xí)對(duì)碼：方便，快捷。20.可配各種無線防盜探測(cè)器、紅外對(duì)射柵欄、煙感、煤氣感、緊急按鈕優(yōu)勢(shì)：大功率無線接收距離，市面普通的無線接收空曠距離120米，隔幾堵墻就收不到信號(hào)了，我們的無線接收距離是普通的5倍，幾個(gè)店鋪完全可以共用一臺(tái)報(bào)警器。
總之：只要安裝了校園一鍵聯(lián)網(wǎng)報(bào)警平臺(tái)，那么您便可以高枕無憂了。不管是校門口的突發(fā)事件，還是校內(nèi)的打斗事件，或者了偷盜事件，這些問題在安裝了平臺(tái)和終端產(chǎn)品后都不是問題！
請(qǐng)?zhí)砑?span>“szxgaaf”或掃描關(guān)注欣廣安公眾訂閱號(hào)：了解公司最新產(chǎn)品及動(dòng)態(tài)。
聯(lián)系人：王波 QQ:2850726367
手機(jī)：18718923870 固話：
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地 址：深圳市光明新區(qū)公明街道西環(huán)大道科技園區(qū)40號(hào)
LBOX-525/2550 3G上網(wǎng)工控機(jī)
3G無線上網(wǎng)工控機(jī)無風(fēng)扇工控機(jī)低功耗工控機(jī)嵌入式工控機(jī)無電纜工控機(jī)
產(chǎn)品PDF資料文件獲取聯(lián)系謝協(xié)協(xié) 13714225711 QQ：2850506296
LBOX-525采用了英特爾凌動(dòng)D525處理器 + ICH8M的Navy Pier二芯片解決方案。英特爾凌動(dòng)D525是一款功耗只有13W的45nm制程處理器，主頻1.8GHz，二級(jí)緩存1MB；Intel D525+ ICH8M的芯片組搭配提供的性能要遠(yuǎn)高于英特爾其他的低功耗方案。高性能的英特爾凌動(dòng)無風(fēng)扇低功耗平臺(tái)，新一代的硬件應(yīng)用環(huán)境。雙顯支持VGA+LVDS+HDMI，支持豐富的多媒體應(yīng)用
1:鋁合金機(jī)箱，主板芯片與機(jī)箱底部連接，在以往的設(shè)計(jì)方案基礎(chǔ)上有著很大的改革，提高了整機(jī)的散熱效果;
2:主板采用上下雙層連接。避免了以往因?yàn)榻泳太亂，造成的不穩(wěn)定因素，提高整機(jī)防震動(dòng)級(jí)別；
3:獨(dú)顯支持 VGA，支持豐富的多媒體應(yīng)用；
4:DDR3 內(nèi)存最大可以支持8G;2個(gè)千兆網(wǎng)卡，穩(wěn)定，安全，抗震，適應(yīng)惡劣的工作環(huán)境；千兆網(wǎng)口提供超強(qiáng)的通信能力;
型號(hào): LBOX-525
硬盤：標(biāo)配SSD16G固態(tài)硬盤（可選SATA硬盤，CF卡硬盤，容量不限可擴(kuò)充）
內(nèi)存：標(biāo)配DDR3代內(nèi)存2G，（可以加大）
串口：6×COM（1×485，5×232/422）
USB口: 4×USB
并口：1×VGA
上網(wǎng)：2×LAN，3G無線網(wǎng)絡(luò)（支持聯(lián)通、電信卡）
主板CPU：Intel（R） 凌動(dòng)D525 Atom , 1.8GHz
主板芯片：Intel D525+ ICH8M
BLOS： Award BIOS, ACPI supported
規(guī)格： 230×125×60（mm）
重量： 2.5kg
工作環(huán)境溫度： -20°C~60°C （-4°F~158°F）
供電方式： 12V 3A以上電源即可
功耗： 15W
看門狗： 256級(jí)
認(rèn)證： CE、FCC、ROHS
謝協(xié)協(xié) 13714225711 QQ：2850506296
主營(yíng)：工控機(jī)，工業(yè)平板電腦，雙核工業(yè)平板電腦，工控機(jī)主板，工業(yè)電腦主板，嵌入式主板，無風(fēng)扇工控主板，凌動(dòng)工控主板，低功耗主板，工業(yè)長(zhǎng)卡，工控長(zhǎng)卡，工控機(jī)長(zhǎng)卡，無風(fēng)扇工控機(jī)，嵌入式工控機(jī)，低功耗工控機(jī)，耐高溫工控機(jī)，寬溫工控機(jī)，特種工控機(jī)，全封閉工控機(jī)，防震工控機(jī)，防塵工控機(jī)，微型工控機(jī)，無線上網(wǎng)工控機(jī)，電子路考系統(tǒng)工控機(jī)，工業(yè)控制工控機(jī)，3G上網(wǎng)工控機(jī)，工控機(jī)報(bào)價(jià)，工控機(jī)定制，工控機(jī)研發(fā)，工控機(jī)設(shè)計(jì)，電力控制工控機(jī)，觸摸工控機(jī)，工業(yè)一體機(jī)，工業(yè)電腦，工控電腦，工業(yè)顯示器，工控設(shè)備。
德國(guó)ECKELMANN控制器 模塊及系統(tǒng)
德國(guó)ECKELMANN公司由ECKELMANN先生建立于1970年，到2005年?duì)I業(yè)收入已經(jīng)達(dá)到25，000，000歐元，發(fā)展迅速，在2006年4月1日，ECKELMANN收購(gòu)了CAN總線執(zhí)行器和控制器的專業(yè)生產(chǎn)商FERROCONTROL， 實(shí)力得到進(jìn)一步鞏固。ECKELMANN的產(chǎn)品擁有一下認(rèn)證： ISO9001：2000；EN ISO 13485:2003, as a supplier for development and production of medicinal products； UL-listed control cabinet manufacturer(UL-File E233027)品質(zhì)值得信賴，在電子，機(jī)械，紡織，玻璃、塑料和金屬加工等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
我公司代理的優(yōu)勢(shì)品牌產(chǎn)品：
德國(guó)產(chǎn)品： TWK編碼器、TWK傳感器； （賀德克）HYDAC傳感器、HYDAC壓力開關(guān)、HYDAC溫度繼電器； TR編碼器、TR絕對(duì)值編碼器、TR增量型編碼器； LENORD+BAUER編碼器、LENORD+BAUER傳感器； HUBNER編碼器、HUBNER測(cè)速電機(jī)； COAX電磁閥 NOVOTECHNIK（NOVO）電子尺、位移傳感器； E+L糾偏傳感器，ERHARDT+LEIMER糾偏導(dǎo)正系統(tǒng)、E+L檢測(cè)儀、E+L控制器、E+L傳感器、E+L電眼； HIRSCHMANN光纖連接器、HIRSCHMANN光纖接口； WACHENDORFF編碼器； ELCIS編碼器； Dynapar編碼器、Dynapar速度傳感器、Dynapar控制器； BAUER電機(jī)、編碼器、傳感器 費(fèi)蘭克FRAKO電容（FRAKO低壓補(bǔ)償電容器）； ELAU電機(jī)，ELAU控制器，ELAU調(diào)速器，ELAU驅(qū)動(dòng)器； PINTER MANOCOMB傳感器、MANOCOMB壓力調(diào)節(jié)器； TIPPKEMPER MATRIX傳感器、TIPPKEMPER光電管等。 IPF傳感器； ALTHEN拉力傳感器； SICOD編碼器； GPI光電編碼器、GPI光柵尺； MICROSONIC控制器、MICROSONIC障礙物探測(cè)器； FRABA編碼器 PAULY光柵、探測(cè)儀、檢測(cè)儀
法國(guó)產(chǎn)品： 法國(guó)RADIO-ENERGIE編碼器-測(cè)速電機(jī)、RADIO-ENERGIE離心開關(guān)；
美國(guó)產(chǎn)品： MTS傳感器、MTS液位計(jì)（MTS磁致伸縮傳感器）； TB WOOD`S 聯(lián)軸器（連接器）、SURE-FLEX聯(lián)軸器（連接器）； SUN 閥 PACIFIC電機(jī)
日本產(chǎn)品： 新時(shí)代NEW-ERA（ERACON）氣缸、NEW-ERA（ERACON）氣爪、NEW-ERA（ERACON）氣動(dòng)手指、NEW-ERA（ERACON）電源； SUMTAK旋轉(zhuǎn)編碼、SUMTAK傳感器、SUMTAK測(cè)速電機(jī) 、SUMTAK光電編碼器； NSD編碼器、NSD控制器、NSD交換器、NSD定位譯碼器（ABSOCODER）； MUTOH編碼器、MUTOH控制器； 澤村電機(jī)SAWAMURA直流電機(jī)；
西班牙產(chǎn)品： 西班牙LIFASA電容器（LIFASA電解電容）；ARTECHE繼電器
瑞典產(chǎn)品： 瑞典LEINE&LINDE編碼器、LEINE&LINDE速度傳感器； 瑞迪JOKAB安全繼電器、JOKAB安全控制器；
英國(guó)產(chǎn)品： 英國(guó)MODULOC冷熱金屬探測(cè)器，MODULOC激光測(cè)距儀,MODULOC金屬檢測(cè)器； 英國(guó)LAND高溫計(jì)、LAND激光準(zhǔn)直系統(tǒng)、LAND INSTRUMENTS紅外測(cè)溫儀；
瑞士產(chǎn)品： 瑞士BESTA傳感器；液位開關(guān)，浮球開關(guān)，COMAT電壓繼電器
GSM全球無線移動(dòng)通訊網(wǎng)絡(luò)控制報(bào)警主機(jī)利用全球GSM短信息數(shù)據(jù)傳輸模式及語音功能平臺(tái)完成智能數(shù)據(jù)遠(yuǎn)程傳輸及控制報(bào)警，該主機(jī)集家庭、商店、辦公場(chǎng)所安全，電器控制、私家車遠(yuǎn)方監(jiān)控等智能家居功能為一體，由于GSM全球無線移動(dòng)通訊網(wǎng)絡(luò)信號(hào)覆蓋面積廣，真正實(shí)現(xiàn)了低價(jià)的超遠(yuǎn)距離方便、靈活的智能無線控制及報(bào)警，解決了固定電話或有線寬帶網(wǎng)絡(luò)有線報(bào)警的局限性。 GSM全球無線移動(dòng)通訊網(wǎng)絡(luò)已在全世界普及，因此GSM全球無線移動(dòng)通訊網(wǎng)絡(luò)控制報(bào)警主機(jī)可廣泛應(yīng)用于單一家庭、小區(qū)物業(yè)、電力、交通、石油、煤炭、鐵道、市政、公安等部門行業(yè)的安防裝置、數(shù)據(jù)監(jiān)測(cè)以及遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)。 無線GSM智能防盜報(bào)警器GW10性能指標(biāo)： 1．防區(qū) 有線防區(qū)2路 無線防區(qū)8路（315M、433M）2．GSM GSM 900/1800MHz 發(fā)射功率 1W。3．LED 主機(jī)指示燈 8個(gè)。4．?dāng)?shù)據(jù)響應(yīng) 時(shí)間 ≤10秒（GSM網(wǎng)絡(luò)正常狀態(tài)） 5．工作電源 電源電壓：AC 220V 50Hz（可選擇）。 整機(jī)功耗：< 3W 后備電池：DC 8.4V 備用電池工作時(shí)間（基本配置、GSM發(fā)射待機(jī)）≥10小時(shí)。6．工作條件 溫度： -20～+60℃ 濕度： 20～95% 無凝露7．重量 凈重： 0.5Kg 毛重： 0.75Kg8．外形尺寸 外形尺寸：180mm（長(zhǎng)）×130mm（寬）×32mm（厚）無線GSM智能防盜報(bào)警器GW10功能特點(diǎn)： ☆ 采用WAVECOM雙頻GSM模塊；☆ 配置八個(gè)無線防區(qū)，二個(gè)有線防區(qū)；☆ 可通過電話按鍵進(jìn)行遠(yuǎn)程布/撤防操作；☆ 報(bào)警時(shí)主機(jī)可自動(dòng)向已設(shè)三組手機(jī)發(fā)送短信息告警；☆ 報(bào)警時(shí)主機(jī)可自動(dòng)向已設(shè)電話撥號(hào)及啟動(dòng)現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)聽；☆ 可通過短信息及語音報(bào)讀雙重模式向遠(yuǎn)程實(shí)時(shí)報(bào)告報(bào)警防區(qū)；☆ 主機(jī)操作時(shí)，實(shí)現(xiàn)人性化語音提示；☆ 可配置雙向?qū)χv功能；☆ 配置專用的緊急呼叫及火災(zāi)報(bào)警防區(qū)；☆ 配置交流電源失電報(bào)警及其交流電源恢復(fù)遠(yuǎn)程報(bào)告功能；☆ 外部交流電源失電后自動(dòng)切換至后備電池。
無線GSM智能防盜報(bào)警器GW10套裝配置： 1、報(bào)警主機(jī)1臺(tái) 2、無線紅外探頭1個(gè) 3、無線門磁1對(duì) 4、遙控器2個(gè) 5、無線數(shù)字鍵盤1個(gè) 6、外接高分貝警號(hào)1個(gè) 7、電源適配器1個(gè) 8、說明書1本
系統(tǒng)組成：
本系統(tǒng)由數(shù)據(jù)采集器、傳感器、視頻監(jiān)控系統(tǒng)、無線傳輸系統(tǒng)、后臺(tái)數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)及信息監(jiān)控管理平臺(tái)。監(jiān)測(cè)子站集成了大氣PM2.5、PM10監(jiān)測(cè)、環(huán)境溫濕度及風(fēng)速風(fēng)向監(jiān)測(cè)、噪聲監(jiān)測(cè)、視頻監(jiān)控及污染物超標(biāo)視頻抓拍（選配）、有毒有害氣體監(jiān)測(cè)（選配）等多種功能；數(shù)據(jù)平臺(tái)是一個(gè)互聯(lián)網(wǎng)架構(gòu)的網(wǎng)絡(luò)化平臺(tái)，具有對(duì)各子站的監(jiān)控功能以及對(duì)數(shù)據(jù)的報(bào)警處理、記錄、查詢、統(tǒng)計(jì)、報(bào)表輸出等多種功能。該系統(tǒng)還可與各種污染治理裝置聯(lián)動(dòng)，以達(dá)到自動(dòng)控制的目的。
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)
在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是至關(guān)重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié)，而涂膠工藝的好壞，直接影響到光刻的質(zhì)量，所以涂膠也顯得尤為必要，尤其在所刻線條比較細(xì)的時(shí)候，任何一個(gè)環(huán)節(jié)有一點(diǎn)紕漏，都可能導(dǎo)致光刻的失敗。在涂膠工藝中，所用到的光刻膠絕大多數(shù)是疏水的，而晶片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，如果在晶片表面直接涂膠的話，勢(shì)必會(huì)造成光刻膠和晶片的粘合性較差，甚至造成局部的間隙或氣泡，涂膠厚度和均勻性都受到了影響，從而影響了光刻效果和顯影。
為了解決這一問題，涂膠工藝中引入了一種化學(xué)制劑，即HMDS，它的英文全名叫Hexamethyldisilazane（HMDS），化學(xué)名稱叫六甲基二硅氮甲烷，把它涂到硅片表面后，通過加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主題的化合物，這實(shí)際上是一種表面活性劑，它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合，起到耦合的作用，再者，在顯影的過程中，由于它增強(qiáng)了光刻膠與基底的粘附力，從而有效地抑制刻蝕液進(jìn)入掩模與基底的側(cè)向刻蝕。 最初，人們用液態(tài)的HMDS直接涂到晶片上，然后借著晶片的高速旋轉(zhuǎn)在晶片表面形成一層HMDS膜。這樣就階段性的解決了基片和光刻膠之間的結(jié)合問題，但隨著光刻線條的越來越細(xì)，膠的越來越薄，對(duì)粘附力提出了更高的要求，于是我們研制出了現(xiàn)在的HMDS預(yù)處理系統(tǒng)。
2 HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的優(yōu)越性
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)在于：
（1）預(yù)處理性能更好，由于是在經(jīng)過數(shù)次的氮?dú)庵脫Q再進(jìn)行的HMDS處理，所以不會(huì)有塵埃的干擾，再者，由于該系統(tǒng)是將"去水烘烤"和HMDS處理放在同一道工藝，同一個(gè)容器中進(jìn)行，晶片在容器里先經(jīng)過100℃-200℃的去水烘烤，再接著進(jìn)行HMDS處理，不需要從容器里傳出，而接觸到大氣，晶片吸收水分子的機(jī)會(huì)大大降低，所以有著更好的處理效果。
（2）處理更加均勻。由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上，所以有液態(tài)涂布不可比擬更好的均勻性。
（3）效率高。液態(tài)涂布是單片操作，而本系統(tǒng)一次可以處理多達(dá)多盒的晶片。
（4）更加節(jié)省藥液。實(shí)踐證明，用液態(tài)HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統(tǒng)處理多盒晶片所用藥液還多；
（5）更加環(huán)保和安全，HMDS是有毒化學(xué)藥品，人吸入后會(huì)出現(xiàn)反胃、嘔吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等，由于整個(gè)過程是在密閉的環(huán)境下完成的，所以不會(huì)有人接觸到藥液及其蒸汽，也就更加安全，它的尾氣是直接由機(jī)械泵抽到尾氣處理機(jī)，所以也不會(huì)對(duì)環(huán)境造成污染。
3系統(tǒng)結(jié)構(gòu)
整個(gè)系統(tǒng)由加熱、真空系統(tǒng)、充氮、加藥和控制模塊等5部分組成。
3.1加熱模塊
由于工藝的整個(gè)過程都需要在150℃左右的環(huán)境下進(jìn)行，所以自始至終加熱系統(tǒng)都在工作。
本系統(tǒng)采用在腔體外側(cè)加熱，采用人工智能PID調(diào)節(jié)儀實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，調(diào)節(jié)儀控制固態(tài)繼電器的輸出，從而實(shí)現(xiàn)溫度的精確穩(wěn)定控制，測(cè)溫采用通用的高精度熱敏電阻Pt100。
3.2真空模塊
由機(jī)械泵、真空組件、真空測(cè)量等組成，主要作用是置換氣體和抽走剩余的HMDS蒸汽，不再贅述。
3.3充氮模塊
作用是在置換過程中，用氮?dú)鈦碇饾u稀釋空氣或藥液蒸汽，從而最終替換空氣或藥液蒸汽的氣氛。
主要由氮?dú)庠、控制閥和噴頭組成。
3.4加藥模塊
加藥模塊的作用是在需要的時(shí)候把藥液變成蒸汽，均勻的涂布到晶片表面。
它主要由藥液瓶，接口、控制閥和噴頭組成。
3.5控制模塊
控制模塊是本系統(tǒng)的核心模塊，它的作用是控制各個(gè)模塊的動(dòng)作和時(shí)序，完成整個(gè)工藝過程。
它主要由人機(jī)界面，CPU控制中心，控制接口和輸出部件，報(bào)警等5部分組成。
人機(jī)界面采用臺(tái)灣威綸通觸摸屏來實(shí)現(xiàn)參數(shù)、狀態(tài)等界面的顯示和參數(shù)的設(shè)定輸入。PLC采用三凌FX系列小型化PLC。
4軟件組成
整個(gè)控制軟件共分4個(gè)部分，即自動(dòng)運(yùn)行、手動(dòng)控制、參數(shù)設(shè)定、幫助。
當(dāng)按下自動(dòng)運(yùn)行鍵后，畫面轉(zhuǎn)換到運(yùn)行畫面，顯示當(dāng)前的工藝狀態(tài)，運(yùn)行時(shí)間等，同時(shí)系統(tǒng)開始運(yùn)行。
首先打開真空泵、開始抽真空、待腔內(nèi)真空度達(dá)到某高真空度（該值可預(yù)設(shè)）后，開始充入氮?dú)猓涞竭_(dá)到某低真空度（該值也可預(yù)設(shè)）后的再次重復(fù)抽真空、充入氮?dú)獾倪^程，達(dá)到設(shè)定的充入氮?dú)獾拇螖?shù)后再次抽真空，然后充入藥液，達(dá)到設(shè)定時(shí)間后，停止充入藥液，進(jìn)入保持階段。當(dāng)?shù)竭_(dá)設(shè)定的保持時(shí)間后，再次開始抽真空、充入氮?dú)猓螖?shù)為設(shè)定值，當(dāng)系統(tǒng)自動(dòng)工作完成后，畫面切換到結(jié)束畫面，同時(shí)給出聲光報(bào)警等待取片，在自動(dòng)工作過程中若出現(xiàn)異常可點(diǎn)擊運(yùn)行畫面中的停止鍵，隨時(shí)終止程序的運(yùn)行。5、 HMDS-90真空系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)
內(nèi)部尺寸：450X450X450
電源： AC220V，功率：3000W
真空度： 常壓到—133pa或1TORR以下
材質(zhì)： 內(nèi)部SUS316電解處理 外殼SS41靜電噴涂。
管路： SUS潔凈管
層架； SUS316材質(zhì)
門內(nèi)板： 鋼化玻璃
流程控制：液晶觸摸屏（臺(tái)灣威綸通）、PLC控制(三菱)，流程可編輯，可以預(yù)存5組程序。（可根客戶要求可以更改流程）
加熱方式：腔體外側(cè)加溫。 溫度：RT+10℃～ 200℃；微電腦溫度控制器，控溫
精確可靠？販鼐龋1℃，真空室溫度均勻
氮?dú)庋b置：氮?dú)膺M(jìn)入箱內(nèi)有調(diào)壓裝置，控制有自動(dòng)閥完成。
HMDS裝置：HMDS藥液進(jìn)入箱內(nèi)采用壓力差吸取瓶?jī)?nèi)HMDS方式，自動(dòng)閥控制
真空泵：抽氣速度4升\秒
工作流程：
首先打開真空泵、開始抽真空、待腔內(nèi)真空度達(dá)到某高真空度（該值可預(yù)設(shè)）后，開始充入氮?dú)，充到達(dá)到某低真空度（該值也可預(yù)設(shè)）后的再次重復(fù)抽真空、充入氮?dú)獾倪^程，達(dá)到設(shè)定的充入氮?dú)獾拇螖?shù)后再次抽真空，然后充入藥液，達(dá)到設(shè)定時(shí)間后，停止充入藥液，進(jìn)入保持階段。當(dāng)?shù)竭_(dá)設(shè)定的保持時(shí)間后，再次開始抽真空、充入氮?dú)猓螖?shù)為設(shè)定值，當(dāng)系統(tǒng)自動(dòng)工作完成后，畫面切換到結(jié)束畫面，同時(shí)給出聲光報(bào)警等待取片，在自動(dòng)工作過程中若出現(xiàn)異？牲c(diǎn)擊運(yùn)行畫面中的停止鍵，隨時(shí)終止程序的運(yùn)行。
用戶可以根據(jù)實(shí)際的需要選擇不同的測(cè)量單元及顯示指示，測(cè)量自選量程范圍。
測(cè)量分析成分 | 最小量程 | 最大量程 | 分析方法 | |
O2 | 氧氣 | 0 – 21,0 % | 0-25,0% | 電化學(xué)/氧化鋯/磁氧 |
CO2 | 二氧化碳 | 0 – 5,0 % | 0-20,0% | NDIR 非分散紅外傳感器 |
CO | 一氧化碳 | 0 – 200 ppm | 0-4000ppm | NDIR 非分散紅外傳感器 |
SO2 | 二氧化硫 | 0 – 200 ppm | 0-4000ppm | NDIR 非分散紅外傳感器 |
NO | 一氧化氮 | 0 – 200 ppm | 0-4000ppm | NDIR 非分散紅外傳感器 |
NO2 | 二氧化氮 | 0 – 200 ppm | 0-4000ppm | 催化轉(zhuǎn)換成NO |
簡(jiǎn)要描述
· SWG 300-1煙氣連續(xù)分析儀主要采用NDIR非分散紅外傳感器測(cè)量原理為基礎(chǔ)分析有毒氣體成份，這些傳感器組合測(cè)量可以使SWG 300-1分析儀測(cè)量的氣體不會(huì)出現(xiàn)交叉干擾。
· 氧氣分析方法可以選擇：長(zhǎng)壽命的電化學(xué)測(cè)量單元（預(yù)計(jì)5年時(shí)間），或ZrO2氧化鋯傳感器或者順磁原理測(cè)量技術(shù)（提供給用戶選擇）
· 分析儀預(yù)備有可以預(yù)裝O2分析單元和4個(gè)NDIR 紅外傳感器氣室，適合于單獨(dú)分析CO,
CO2,NO和SO2, 紅外傳感器適合于低量程的氣體有CO,NO和SO2安裝在19” 機(jī)架上
· 可選擇一個(gè)外擴(kuò)輸入接口如變送器（4-20mA或0-10Vdc）能夠通過AUX接口輸入· SWG 300-1將被安置在一個(gè)取樣方便的采樣位置，適用于取樣到分析從采樣點(diǎn)到分析中，采樣點(diǎn)到分析儀距離越短分析的反應(yīng)時(shí)間塊，標(biāo)準(zhǔn)的加熱采樣管線10米（其他長(zhǎng)度可選），采用全程加熱管線取樣到分析儀。
· SWG 300-1分析儀數(shù)字輸出接口和8路0/4-20mA模擬輸出，測(cè)量的數(shù)據(jù)可以輸出進(jìn)行處理分析也可以通過RS485接口輸出，測(cè)量數(shù)據(jù)可以打印輸出帶時(shí)間日期和通過RS232接口輸入到PC機(jī)( MRU 32-bit Data Logger software inclusive)
· 現(xiàn)場(chǎng)實(shí)時(shí)顯示測(cè)量結(jié)果以及自診斷參數(shù)。
· SWG300設(shè)計(jì)適合于連續(xù)分析測(cè)量，自動(dòng)校準(zhǔn)零點(diǎn)，依據(jù)軟件可以自由選擇設(shè)定一天至少一次。
· 220 V / 50 Hz交流電，機(jī)箱底部預(yù)留開口，用于排放冷凝水；連接煙氣采樣管線（帶自加熱功能，10米長(zhǎng)）。
· SWG300使用應(yīng)該在一個(gè)干燥，干凈，溫度在+5°C 至 +45°C環(huán)境下可以長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)使用。
硬 件
所有硬件都在以小型，鋼制機(jī)箱內(nèi)（重量約90公斤，IP 54防護(hù)等級(jí)，通過將儀器固定到方型輪子架子上，）
Ÿ 透明玻璃門
Ÿ 操作鍵盤，LCD顯示器（帶背光）測(cè)量數(shù)據(jù)
Ÿ 完善的煙氣分析組合系統(tǒng)包括：
Ÿ 煙氣取樣氣泵
Ÿ 冷凝水氣泵
Ÿ 冷凝水自動(dòng)排放
Ÿ 過濾器單元能夠過濾煙氣和環(huán)境氣體
Ÿ 流量計(jì)
Ÿ 三通電磁閥切換氣路，以自動(dòng)標(biāo)定零位，并抽取環(huán)境空氣沖洗傳感器
Ÿ 內(nèi)置熱敏打印機(jī)
Ÿ m-微細(xì)過濾處理器
Ÿ IR-紅外傳感器
Ÿ RS232 接口
Ÿ 8路 0/4-20mA 模擬輸出
軟 件
標(biāo)準(zhǔn)軟件。包括所有上述功能，并自動(dòng)診斷系統(tǒng)內(nèi)部狀態(tài)。
SWG 300 – 隨時(shí)進(jìn)行自我檢測(cè)，并輸出相應(yīng)控制及報(bào)警信號(hào)。包括：
系統(tǒng)故障
· 帕爾帖（Peltier）冷卻器自動(dòng)控制
· 傳感器功能
· 冷凝水檢測(cè)
· 自加熱管線自動(dòng)調(diào)節(jié)
· 自動(dòng)測(cè)量和待機(jī)功能
· 打印機(jī)
· 自動(dòng)零點(diǎn)標(biāo)定
· 儲(chǔ)存數(shù)據(jù)輸出到PC ( MRU 32-bit Data Logger
技 術(shù) 參 數(shù)
| 分析參數(shù) | 傳感器類型 | 標(biāo)準(zhǔn)量程 (其它量程單獨(dú)咨詢) | 分辨率 | 精度
|
| O2 | Electrochemical cell | 0 to 21,0% | 0,1% | ± 0,2% |
| CO2 | NDIR bench 1 | 0 to 20,0% | 0,1% | ± 0.1% or ± 5% reading |
| CO | NDIR bench 2 | 0 to 200ppm 0 to 1.000ppm | 1ppm | ± 4ppm or ± 2% reading |
| SO2 | NDIR bench 3 | 0 to 200ppm 0 to 1.000ppm | 1ppm | ± 4ppm or ± 2% reading |
| NO | NDIR bench 4 | 0 to 200ppm 0 to 1.000ppm | 1ppm | ± 4ppm or ± 2% reading |
| NO2 | Catalytic conversion into NO | 0 to 200 ppm | 1ppm | ± 4ppm or ± 2% reading |
計(jì)算值: CO [mg/m3]; NOx as NO2 [mg/m3], SO2 [mg/m3],
相應(yīng)時(shí)間: 20 秒從進(jìn)入分析儀的接口開始
顯示: 液晶LCD顯示，自帶背景燈
打印機(jī): 熱敏打印機(jī)，打印紙寬 58 mm
采樣氣泵境況: 內(nèi)置帕爾帖冷卻器冷卻溫度到= +5°C,
過濾器過濾粒徑小于1µ
環(huán)境溫度: +5°C 至 + 40°C,相對(duì)濕度在空氣最大95%, 非冷凝
外型尺寸: 880 x 600 x 575mm (深x寬x高)
重量: 約 90 公斤
防護(hù)等級(jí): IP 54
電源: 230Vac, 50 to 60Hz, up to 600W
信號(hào)輸出: 8 路模擬輸出, 一路信號(hào)每個(gè)氣體 4 － 20mA,
PCRS232數(shù)據(jù)輸送到PC
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